大口径导光板抛光及其功率谱密度分析-红外与激光工程.PDF

第42 卷第4 期 红外与激光工程 2013 年4 月 Vol.42 No.4 Infrared and Laser Engineering Apr.2013 大口径导光板抛光及其功率谱密度分析 1,2 1,2 3 4 王 伟 ，徐 敏 ，李洪玉 ，于国域 (1. 复旦大学 光科学与工程系，上海 200433 ；2. 复旦大学 超精密光学制造工程研究中心， 上海 200433 ；3. 哈尔滨工业大学 空间光学工程研究中心，黑龙江 哈尔滨，150001 ； 4. Optic Glyndwr, Ffordd William Morgan, St Asaph, LL17 0JD UK) 摘 要 光学技术对于现代科学尤其是航天科学的发展起着越 越重要的作用。而具有高精度大口 径光学元器件的跨尺度加工一直是现代光学技术的难点。超精密气囊抛光技术是基于计算机控制光 学表面成形技术。其采用充气的柔性抛光气囊作为抛光工具，解决了传统数控抛光方法中抛光头不 。以 ， 能很好地和工件吻合的缺点 Preston 方程为基础，研究了超精密气囊抛光的理论材料去除特性 建 立了气囊抛光中“进动”运动方式下的材料去除模型，并针对气囊抛光工具的物理特性，按照Hertz 接 触理论对去除模型进行了修正。在理论分析的基础上完成了一块口径为570 mm 的平面楔形工件的 抛光，使得工件的面形精度 P-V 值达到了1/8 ，RMS 值达到 1/75 。并分析了该元件的功 谱密度 (PSD) 曲线，窄带噪声及其产生原因。 ； 关键词 抛光 大口径； Preston 方程； Hertz 接触理论 中图分类号 TH161.14 文献标志码 A 文章编号 1007-2276(2013) 04-0982-06 Polishing of large aperture mirror and analysis of power spectral density 1,2 1,2 3 4 Wang Wei , Xu Min , Li Hongyu , Yu Guoyu (1. Department of Optical Science and Engineering , Fudan University , Shanghai 200433, China; 2. Shanghai Ultra precision Optical Manufacturing Engineering Center, Fudan University , Shanghai 200433, China ; 3. Research Center for Space Optical Engineering , Harbin Institute of Technology , Harbin 150001, China;