一种光学元件表面中频误差提取的新方法!-振动、测试与诊断.PDF

第 卷第 期 振动测试与诊断 年 月 一种光学元件表面中频误差提取的新方法 任志英 林有希 黄健萌 肖维军 高诚辉 福州大学机械工程及自动化学院 福州 福建福光股份有限公司 福州 摘要 光学元件表面面形误差属于非平稳空间信号为了在分离光学元件表面各频段面形误差的同时尽可能保留 原始信号各频段的细节特征结合超精密抛光的球面光学元件表面特点提出一种基于双树复小波变换 简称 的自适应分离法利用 的多分辨分析方向性好和良好的时 频局部化分析能力等特点对实测的抛光光学元件表面进行 的多尺度分解并在重构时加入自适应影响 因子成功分离了各频段的面形误差通过对经 直接分离法与 自适应分离法得到的高中低 频面形误差进行参数表征实验证明基于 自适应分离法更为有效地分离光学元件各个频段的面形误差 及误差特征便于后续的识别与评定工作 关键词 光学元件面形误差双树复小波变换自适应分离参数表征 中图分类号 他频段中最终使中频的细节特征变得模糊这将 引 言 为后续的评价带来误差甚至可能得到错误的结论 另一方面中频信号是数控小刀具在抛光过程中留 光学元件在紫外和 射线光学以及高功率激 下的一些波纹其受到加工温度刀具及抛光液等影 光损伤阈值等领域的应用越加广泛与频繁 因此 响属于非平稳空间信号 对于光学元件表面质量也提出了更高的要求表面 双树复小波变换因具有多分辨分析近似平移 质量影响因素除了光学元件自身材料外主要是光 不变性和方向性好等优点