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所谓压阻效应
练习 如果将100欧电阻应变片贴在弹性试件上,若试件受力横截面积S=0.5X10-4m2,弹性模量E=2X1011N/m2,若有F=5X104N的拉力引起应变电阻变化为1欧,是求该应变片的灵敏度系数。 第三节 压阻式传感器 半导体应变片是用半导体材料制成的,其工作原理是基于半导体材料的压阻效应。 所谓压阻效应,是指半导体材料在某一轴向受外力作用时,其电阻率ρ发生变化的现象。 半导体应变片受轴向力作用时,其电阻相对变化为式: 实验证明,半导体材料的 比 大上百倍,所以 可以忽略,因而半导体应变片的电阻相对变化为: 半导体应变片的突出优点是灵敏度高,比金属丝式应变片高50~80倍,尺寸小,横向效应小,动态响应好。但它有温度系数大,应变时非线性比较严重等缺点。 利用硅的压阻效应和微电子技术制成的压阻式传感器,具有灵敏度高、动态响应好、精度高、易于微型化和集成化等特点 半导体材料中,压阻效应性能最好的是半导体单晶硅 应用与计算 2-1 应用与计算 2-2 应用与计算 2-3 习题与思考题 1. 什么是压阻效应?什么是横向效应? 2.试说明金属应变片与半导体应变片的相同和不同之处。 * *
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