5高反射镜.PDF

5 高反射鏡 1 5.1 金屬膜反射鏡  塊狀金屬缺點: 粗糙拋光不易 不易成型 高功率雷射要求薄膜有高閾值才再使用 2  輕而堅固且能做成好的光學面的材質當基板 (例如玻璃) ，在上面鍍金屬膜。 背面鏡 玻璃背面用化學或物理方法鍍上一層銀或鋁，再鍍(或 塗)以保護膜(如銅、鎳鉻合金)或漆或膠合在另一片玻 璃上 鏡面不易退化或損壞 二次反射造成重影困擾 正面鏡: 用於光學系統 3  重點: 提高反射率 增強機械特性 化學穩定性 對基板的附著性 。 4 5.1.1. 常用金屬膜 常用金屬膜之反射率，q ＝0° 0 5 常用金屬膜之偏振現象，q ＝45° 0 6  銀: 從可見光一直到紅外光區都有很高的反射率。 在波長小於340nm的紫外光區，其反射率急速下降。 銀膜在傾斜使用時，偏振效應最小。 當正面鏡  可先鍍Al2O3 ，蒸發速率大於8 Å /S ，膜厚約900Å 當作襯底以 增加附著性。  然後鍍銀，厚約800– 1000Å ，蒸發速率約100–200 Å /S 。  再鍍厚約300Å 之Al O 當附著劑，蒸發速率為6-8 Å /S ，此速率 2 3 可使Al2O3膜不具吸收。  再鍍保護膜，厚約1000-2000Å 之SiO 或MgF 。 X 2  介於基板與銀膜間亦可用Al 、Cu 、Cr或Ni-Cr合金來增加附著 性及兼保護作用。 7  金: 600nm以上開始有高反射率，到紅外光區金膜之 反射率都很高。 化學穩定性良好，機械性和附著性佳，且隨著時 間增長而增加。 但一般可先玻璃上鍍一層鉻膜，其厚約達透射率～ 10% ， 再鍍金以增加附著性。 鉻膜亦可用Ni-Cr合金來代替，也有人用SiO來當增加 附著性的襯底，其厚約800 Å ， 鍍後並在空氣中加熱到200℃約1小時以增強其附著性。 至於金膜的保護膜以HfO 最佳，蒸鍍時可加離子助鍍