部分空气桥式硅膜二维光子晶体！.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 0% / ##0 / ， ， ， K: +0% P + / 3@B;Q ##0 （ ） !###/G#M##0M0% #/ M !!$#% N*2N ),O’8*N ’8P8*N ##0 *Q(= + )QR9 + ’; + 部分空气桥式硅膜二维光子晶体! !） !） !） !） !） !） ） 田 洁 韩守振 程丙英 李志远 冯 帅 张道中 金爱子 !）（中国科学院物理研究所和凝聚态物理中心光物理开放实验室，北京 !###$# ） ）（中国科学院物理研究所，微加工实验室，北京 !###$# ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） ##% ! ##% $ !# 描述在 基底上制备带隙在近红外波段部分空气桥式二维光子晶体（ ）选用 酸溶液作为腐蚀液，利用 ’( )* + ,- 聚焦离子束刻蚀技术直接刻蚀出具有三角形空气洞结构的二维 ，并测出了二维 完整的第一带隙透过谱的带 )* )* 隙范围为 — 实验测得的透过谱与理论计算的空气桥式二维 的计算结果一致 类 模的存在减小 !./ !.00 1 + )* + 23 ! # 了带隙的宽度 由于部分 支撑桥式平板，二维 易于按所需尺寸进行制备 同时，通过改变平板下的支撑材 + ’(4 )* + 料，可以制出有源的)*，利用这种机理可以把光从支撑材料中引出+ 关键词：二维光子晶体，带隙，平板波导 ： ， ， !## %05 %06 %%#3 二维 ，在本实验中通过控制 溶液腐蚀 的 )* ,- ’(4 !. 引 言 时间，选择性地腐蚀掉平板下部分支撑物，留有部分 ’(4 来支撑平板，