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半导体业洗涤塔问题探讨与改善实务
半導體業洗滌塔問題探討與改善實務
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Center for Environmental, Safety and Health Technology
Industrial Technology Research Institute.
Taiwan, R.O.C.
03-5913853, hmchein@itri.org.tw
03-5913853, hmchein@itri.org.tw
18 Oct. 2002
18 Oct. 2002
目錄
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前言
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基本理論
基本理論
實務設計
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操作規範
操作規範
效率分析
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結語
結語
Center f or Environmental Saf ety Health Technolo
Center f or Environmental Saf ety Health Technolo
Industrial Technology Research Institute
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Taiwan, R.O.C.
Taiwan, R.O.C.
前 言
前 言
“半導體製造業空氣污染管制及排放標準”
“半導體製造業空氣污染管制及排放標準”
管制對象
管制對象
M ateriel U sage Yearly (eq ual or m ore)
volatile o rganic com p ounds 1700kg/y ear
Trichloroethy lene 60 kg/y ear
HN O3 1700kg/y ear
H 2 SO4 300 kg/y ear
HC l 1700kg/y ear
H PO 1700kg/y ear
3 4
HF 1200 kg/y ear
未來亦將光電業納入管制對象
未來亦將光電業納入管制對象
Center f or Environmental Saf ety Health Technolo
Center f or Environmental Saf ety Health
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