50110nm高反射率多层膜的设计、制备与检测.pdfVIP

摘要 摘要 10 天体物理、大气物理、空间通讯和空间天气预报对波长小于l nm的真空 紫外与极紫外波段高反射镜有着特殊需要。然而设计这一波段的反射镜相当困 难，主要是由于所有材料对这一波段都强烈吸收，单层膜和常规的多层膜反射 镜都不能满足实用要求。因此，寻找合适的方法提高这一波段的反射率显得尤 为重要。2001年，Larruquert提出了亚四分之一波长多层膜思想，可以有效解决 强吸收材料在某一波长处的反射问题。然而，至今人们对于宽波段强吸收高反 射率膜层并没有傲深入研究。本论文将亚四分之一波长多层膜思想应用于宽带 多层膜的设计，摸索了制备工艺，制备了宽带高反多层膜样品，对提高宽波段 强吸收材料的反射率做了一定的尝试。 nm强吸收波段亚四分之一波长多层膜的设计方法。 论文简要阐述了50．110 这种膜系是由强吸收材料叠加而成，每层膜光学厚度小于四分之一个波长。与 常规周期多层膜相比，这种膜系更适用于提高强吸收波段的反射率。利用该方 方法完成了50吸收波段宽带高反射率S／／W／Co多层膜的设计，其平均反 射率达到45％。采用直流磁控溅射方法制备了S价WCo多层膜，用x射线衍射仪 (XRD)对膜层结构进行了测试，并进行了厚度和粗糙度拟合，结果表明制作出的 多层膜结构与设计结构基本符合。 关键词：亚四分之一波长；多层膜； 极紫外；高反射率；磁控溅射 Abstract ABSTRACT has TheⅥⅣandEUV below110nm a spectralregion becominginteresting areadueto research ofdifferent fields，such勰solar applications physics，atmosphere communicationand weather is difficultto physics，space space forecast．However,it the mirrorinthis reasonisthe designhighreflectivity spectralregion．The reflectivity of andstandard Cannotmeetthe dueto demand singlelayer muldlayers application the ofaIlmaterialsinthis hi曲radiationabsorption spectral to in is findsuitablemethodto甜lancethe this important retentivityspetrallegion． In a methodof 2001，Larruquertnewdesign