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多晶硅铸锭中碳氮氧杂质特性的研究进展 - 材料导报
多晶硅铸锭中碳氮氧杂质特性的研究进展谭 毅等 多晶硅铸锭中碳氮氧杂质特性的研究进展 谭 毅 王 鹏 秦世强 姜大川 石 爽 李鹏廷 大连理工大学材料科学与工程学院大连 大连理工大学辽宁省太阳能光伏系统重点实验室大连 摘要在多晶硅铸锭生产过程中不可避免地会引入碳氮氧杂质元素这些杂质会形成沉淀复合体等缺陷 成为少数载流子的复合中心缩短硅的少子寿命从而降低硅片的太阳能转换效率因此控制和降低铸锭中这 种 杂质元素的含量对提高铸锭的性能和降低生产成本具有重要意义阐述了碳氮氧元素的来源分布着重综述了 铸锭中 种杂质元素的存在形态及不同形态对铸锭的影响总结了降低 种杂质元素含量的方法指出了目前研究 的问题并对铸锭中这 种杂质元素的研究趋势进行了展望 关键词 多晶硅铸锭 性能 杂质 形貌 控制 中图分类号 文献标识码
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