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-- 第 29卷 第 2期 2012年2月
ISSN 1002 4956
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CN11—2O34／T VoI．29 No．2 Feb．20l2
构建真空镀膜实验三维仿真系统
杨 亮 。，刘钟馨 ’ ，林仕伟 ～，曹 阳 。。
(1．海南优势资源化工材料应用技术教育部重点实验室，海南 海 口 570228；2．硅锆钛 资源综合开发与
利用海南省重点实验室，海南 海 口 570228；3．海南大学 材料与化工学院，海南 海 口 57O228)
摘 要 ：利用 VisualBasic2010结合 OpenGIAPI，在 Windows7操作系统平台下制作 了真空镀膜实验仿真
系统 。三维虚拟设备模型 由3DMAX软件制作 ，三维模型交互操作通过 OpenGLAPI实现 。该软件还可 以
模拟真空仪器所处的各种运行状态并对操作错误步骤进行处理。构造了薄膜生长的蒙特卡罗理论模型，并
利用该模型研究薄膜生长 的形貌 ，对于决定薄膜形貌诸多影响因素也可进行讨论 ；利用高性能图形处理软件
验实me
(OpenGLAPI)成功展示 了薄膜成长 的分形特征及表面粗糙度表征 。该软件有效地实现 了镀膜过程及薄膜
生长过程 ，增强了学生对薄膜生长机理 的理解 ，提高 了教学质量 ，培养 了学生学 习兴趣和增强 了学生 的实验
技 操作能力 。
关键词 ：真空镀膜机 ；仿真系统；VB2010；OpenGL
术山
中图分类号 ：TB753；TP391．9 文献标志码 ：B 文章编号 ：1002—4956(2012)02—0071—05
与
管№
a Constructingthree-dimensionalsimulationsystem
理
e ofvacuum film experiment
YangLiang， ，LiuZhongxin ， ，LinShiwei ，CaoYang，，。
(1．HainanProvincialKeyLaboratoryofResearchonUtilizationofSi—Zr—TiResources，Haikou570228，China；
2．KeyLaboratoryofApplicationTechnologyofHainanSuperiorResourcesChem icalMaterials，M inistryof
Education，Haikou570228，China；3．MaterialandChemicalCollege，HainanUniversity，Haikou570228，China)
Abstract：Basedontheresearchonthecharacteristicsofthevacuum film experiment，thisarticleintroducesa
designmethodofsimulatedexperimentsystem which isbasedonOpenGIAPIanddevelopedwithVisualBasic
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