plm－10 激光加工控制软件使用说明书.pdfVIP

ＰＬＭ－１０ 激光加工控制软件 使用说明书 Ver.1.3 Photonic Instruments Co.,Ltd. 目录 1.概要 ... 1 2.构成 ... 1 3.启动和关闭 1 3-1.启动 1 3-2.关闭 2 4.机能说明 3 4-1-1.绝对坐标 3 4-1-2.虚拟坐标 4 4-1-3.校准坐标 5 4-1-4.步移动 6 4-1-5.地图 6 4-1-6.操纵杆 8 4-2.激光标记 9 4-3.详细标记 10 4-3-1.点 11 4-3-2.直线 11 4-3-3.交叉线 12 4-3-4. 圆 13 4-3-5.三角形 13 4-3-6. 四角形 13 4-3-7.字符串 14 4-3-8.字符串编辑 15 4-4.画像加工 16 4-5.顺序 18 4-6.系统 18 4-6-1.设定加载，保存 18 4-6-2.模式 19 4-6-3.版本 19 5.附录 . 19 1.概要 PLM-10 激光加工软件是微点激光发生器和电动载物台,由计算机控制，在显微镜 下对样品做微小激光点标记，或者进行加工。对样品的偏斜之处进行矫正，也可以进 行 Teaching point 的观测。 另外，此 PLM-10 装置可以和本公司的 REVIEW SOFTWARE 进行组合，例如， 可以组合成 KLA-Tencor Wafer Defect sys.等装置。 2.构成 本装置是由以下硬件组成，采用 windows 下运行的应用程序来实现控制功能。 ・ 激光控制专用连接线 ・ 微点及康泰 PIO 板口专用连接线 ・ PHOTONIC INSTRUMENTS Co., Ltd （美国公司）制造微点 ・ 电动载物台 MARZHAUSER WETZLAR GmbH u. Co. KG-公司制造 电动载物台附 属 Lstep 载物台控制器 ・ DOS/V 计算机 WindowsXP ，2000 ，NT4.0 ，Me ，98 CPU Pentium3 或者 Celeron 以 上的频率 800MHz 以上RS-232C COM 端口 1 通道以上康泰 PIO 板 PIO-16/16T(PCI) 另外需要一个以上可以设置 PIO-32D(PM) 的扩张插槽 ・ 显示器电脑用彩色显示器 分辨率 800×600 以上 3.启动和关闭 3-1.启动 使用载物台附属的 RS-232C 连接线将计算机 com 端口和控制载物台的 RS-232C 板口进行连接。使用专用连接线连接计算机的 PIO 板口及微点的外部信号触发连接器 进行连接。将计算机，微点，电动载物台的电源调至 ON 状态。 启动 windows 系统之后，打开 Plm10.exe 文件，运行本软件， 启动是会弹出提示信息『是否将载物台恢复至初始状态』，如果选择『是』载物台 将会被恢复至初始状态。在载物台上电后执行过 1 次以上复位至原点的动作之后，就 不需要每次启动本软件时执行复位动作。启动成功后，页面显示如[图4 主菜单]所示。 1 图4 主菜单 3-2.关闭