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CaCu_3Ti_4O_12_外延薄膜的巨介电常数特性.pdf
第 4 1 卷 第 4 期 上 海 交 通 大 学 学 报 Vol . 4 1 No . 4
2007 年 4 月 J OU RN AL O F SHAN GHA I J IAO TON G UN IV ER SIT Y Ap r . 2007
文章编号 (2007)
Ca Cu Ti O 外延薄膜的巨介电常数特性
3 4 12
1 1 ,2 1 2
朱维婷 , 任清褒 , 马松华 , 焦正宽
( 1. 丽水学院 物理系 ,丽水 323000 ; 2 . 浙江大学 物理系 ,杭州 3 10027)
摘 要 : 采用脉冲激光沉积方法制备 CaCu Ti O 薄膜 ,研究了其介电常数 、交流电导与温度和频
3 4 12
ε ( )
率的关系. 实验结果表明 ,CaCu Ti O 外延薄膜的介电常数 在 1 k Hz ,300 K 时高达 14 700 ,是
3 4 12
ε
目前该体系最好的结果 ;在 1 k Hz ,100~300 K 温区内, 基本保持恒定 ,热稳定性好 、介电损耗低.
该特性表明 ,CaCu Ti O 薄膜材料有可能成为信息存储器件更新换代最现实的候选材料. 提出薄
3 4 12
膜大的内应力可能是其出现巨介电常数的原因 , 电导与温度及频率的关系是由电子 、声子与外电场
的共同作用决定的.
关键词 : 钙钛矿结构 ; 脉冲激光沉积 ; CaCu Ti O 外延薄膜 ; 介电常数
3 4 12
中图分类号 : O 482 . 4 文献标识码 : A
Study on the Giant Dielectric Constant in CaCu Ti O Epitaxial Thin Films
3 4 12
Z H U Weit i
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