P型透明导电CuAlO2薄膜的透光性能研究.pdfVIP

· 62 · 材料导报 B：研究篇 2012年 6月(下)第26卷第 6期 P型透 明导电CuAIO2薄膜的透光性能研究 汪立文 ，万蕴杰 ，高 岭。，董建新。 (1 广州计量检测技术研究院。广州 510010；2 广东省建筑设计研究院，广州 510010；3 重庆大学理学院，重庆 400044) 摘要 CuAI{)(cA())透明薄膜是一种铜铁矿结构P型直接带隙透明氧化物薄膜，该型薄膜样品的可见光透 射率高达8()％。随着基片温度的升高，薄膜的透射率减小；随着工作压强和靶基距的增大，薄膜的透射率增大；随着 退火温度的升高，薄膜的透射率增大，有 “蓝移”现象；随着溅射时间的延长，薄膜的透射率减小，也有 “蓝移”现象。目 前，利用该薄膜已成功制得 了透明的臭氧传感器和透明光电板等器件，显示了cA()的应用前景。 关键词 CA()薄膜 光学特性 透射率 中图分类号：004；TI1321 文献标识码 ：A StudyonTransmittancePropertyofp-typeTransparentConductive OxideThinFilm ofCuAIO2 WANGLiwen，WANYunjie，GA()Ling。，D()NGJianxin。 (1 (；uangzhouInstituteofMeasuringandTestingTechnology，Guangzhou510010；2 TheArchitecturalDesignandResearch InslituleofGuangdongProvince。Guangzhou510010；3 CollegeofScience，ChongqingUniversity，Chongqing400044) Abstract TheCuAI()2thinfilm isadelafossitestructure，p-typeanddirectlybandgapelectricalconductivity transparentoxidethinfilm．spectralanalysisresultindicatethatthetransmittanceofthiskindofthinfilm couldbe morethan80 ．Thetransmittancedecreaseswhenthesubstratetemperatureincreases．Thetransmittanceincreases whentheworkpressureanddistanceoftargetincrease．Thetransmittanceincreaseswhentheannealingtemperature rises，andtheabsorbanceedgemovetowardtheshortwavelength．Thetransmittancedecreaseswhenthesputtering timeincreases，andtheabsorbanceedgeiTiovetowardtheshortwavelengthtoo．UptonOW，theozonoscopeand trans— parentphotoelectricitysheethavebeenmanufacturedsuccessfully，which showsastraightforwardapplicationofthe 【、A()． Keywords CA()thinfilms，opticalproperties transmittance 法 ，以CA()靶材在透明平面玻璃和硅片上沉积 CA()薄膜。 0 引言 溅射时系统的基础真空度为 6．0×10 Pa，衬底温度由连接 1997年 ．Kawazoe等首次报道了铜铁矿结构的CuAI()。 到衬底上的热偶