MI4221015集成电路可靠性.doc-微电子学院微电子实验教学中心-首页.docVIP

《集成电路可靠性》教学大纲 课程编号：MI4221015 课程名称：集成电路可靠性 英文名称：Reliability of Integrated Circuits 学时： 30 学分： 2 课程类型：限选课 课程性质：专业课 适用专业：微电子学 先修课程：双极型器件物理,场效应器件物理,模拟集成电路,数字集成电路,集成电路制造技术 开课学期：7 开课院系：微电子学院 一、课程的教学目标与任务 目标：随着集成电路的发展进入到系统芯片时代，不仅仅要求其功能和特性参数有大幅度的提高，而且要求具有更高的可靠性，掌握集成电路的可靠性技术是本课程的目标。 任务：本课程主要针对硅器件(包括分立器件和集成电路) 的可靠性问题，介绍可靠性的基本概念、可靠性数学基础、微电子器件失效物理和失效分析、微电子器件的可靠性设计和工艺保证、可靠性试验、微电子器件的应用可靠性等内容。同时特别注意微电子器件可靠性的必威体育精装版进展。 二、本课程与其它课程的联系和分工 本课程是在《双极型器件物理》、《场效应器件物理》、《》《》《》等总学时 30学时，讲课 28 学时，多种教学形式 2 学时 教学环节 教学时数 课程内容 讲 课 实 验 习 题 课 讨 论 课 上 机 参观或 看录像 小 计 概述 2 2 可靠性数学基础 4 4 失效物理 6 1 7 失效分析 4 4 可靠性设计 4 4 工艺可靠性 4 4 可靠性试验 4 1 5 五、考核方式 笔试（开卷）。 各教学环节占总分的比例:平时作业：30%，期末考试：70% 六、推荐教材与参考资料 史保华、贾新章、张德胜，《微电子器件可靠性》，西安：西安电子科技大学出版社，1999。 （执笔人：贾新章 审核人：张鹤鸣） 1