用于超薄薄膜分析 - Thermo Fisher Scientific.PDFVIP

赛默飞Theta Probe 表面分析系统 多功能XPS 系统 用于超薄薄膜分析 赛默飞Theta Probe 用于超薄薄膜分析的强大工具 赛默飞Theta Probe 是一款用于超薄薄膜分析的高性能XPS 系统。角分 辨X 射线光电子能谱（ARXPS ）是一项测量多种材质样品的完美技术。 Theta Probe 配有微聚焦X 射线源和平行ARXPS 分析器，使复杂的薄膜 测量变得简单而直观。Theta Probe 的功能可通过添加其他分析装置进行 扩展，其中包括紫外光电子能谱仪以及一系列样品制备选配件。 • 无需倾斜样品的用于超薄薄膜测量的平行ARXPS 分析器 • 用于小特征分析的小光斑X 射线源 • 化学价态成像 • 配有共轴和离轴照明系统用于俯视的样品对齐操作 • 可放置大型样品 • 用于深度剖析的离子源 • 用于仪器控制 数据采集 数据处理和报告的功能完备 、 、 的赛默飞 Avantage ™ 软件 半导体装置、基于石墨烯的电子设备、医疗设备和自 组装单层膜等多种应用均要求对超薄薄膜进行无损化 学表征。 平行ARXPS 分析 Avantage 软件 平行角分辨XPS(PARXPS) 在高级薄膜分析中具 赛默飞Avantage 数据采集和处理软件融合了 有许多优势。 从分析工作中提取最大信息量的所有必要功 • PARXPS 可用于小区域面积 大型样品的元 能 并包含一组齐全的数据和图像处理工具 、 ， ， 素面分布成像和深度剖析 其中包括： • PARXPS 比传统需要倾斜样品的方法速度更 • 线性 Shirley 和Tougaard 背景扣除 、 快 • 谱峰识别 • 分析区域面积保持不变 且不随电子发射 • 定量分析 ， 角度而变化 • 谱峰拟合 • 由于整个X 射线光斑位于能谱仪的视