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方波射频电压幅值对微型高场非对称波形离子迁移谱传感器-分析化学
38 (FENXI HUAXUE) 11 第 卷 分析化学 仪器装置与实验技术 第 期 2010 11 Chinese Journal of Analytical Chemistry 1678 ～ 1682 年 月 檵檵檵檵檵檵檵檵檵檵檵檵檵殝 檵 殝 檵 仪器装置与实验技术 檵 檵 殝 殝檵檵檵檵檵檵檵檵檵檵檵檵檵 DOI :10． 3724 / SP． J． 1096． 2010． 01678 方波射频电压幅值对微型高场非对称 波形离子迁移谱传感器芯片性能的影响 1 * 1 1 1 2 李华 唐飞 王晓浩 张亮 杨吉 1 1 3 3 王帆 徐初隆 吝涛 丁力 1 ( ， ， 100084) 清华大学精密仪器与机械学系 精密测试技术与仪器国家重点实验室 北京 2 ( ， 030051) 3 ( ( ) ， 201201) 中北大学电子与计算机科学技术学院 太原 岛津分析技术研发 上海 有限公司 上海 (Micro electro mechanical system ，MEMS)， 摘 要 基于微机电系统技术 研制了微型高场非对称波形离子迁 (High-field asymmetric waveform ion mobility spectrometry ，FAIMS) 。 移谱 传感器芯片 芯片采用感应耦合等离子 (ICP) - ， 18． 8 mm × 12 ． 4 mm × 1． 2mm ， 10 mm × 体 刻蚀和两次硅 玻璃键合工艺加工 尺寸为 其中迁移区尺寸为 5 mm × 0 ． 2 mm 。 ， 2 MHz ， - 1000 V ， 20% ～ 设计了高场非对称方波电源 可输出最大频率 电压峰峰值 占空比 50% 。 ， FAIMS 连续可调的方波射频电压 以乙醇为实验样品 分析了方波射频电压幅值对 传感器芯片性能的 。 ， ，FAIMS ， ， ， 影响 实验表明 随着电压幅值的增加 分辨率提高 灵敏度下降 补偿电压绝对值增大 且芯片对乙醇 的检出限可达8． 9 mg / m3 。 ; ; 关键词 微机电系统 高场非对称波形离子迁移谱 方波射频电压 1 引 言 (Ion mobility spect
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