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微电铸槽操作手册-国立高雄第一科技大学
微系統製造實驗室─微電鑄機台操作手冊
微電鑄槽操作手冊
1. 電鑄原理
電鑄是將鍍件(wafer)做為陰極，浸於含欲鍍金屬離子之電鑄液中，另一端
置適當陽極，通入直流電後，將各類金屬(或合金)沈積於特殊設計之母模上，待
累積到相當厚度後再與母模脫離，即可產生電鑄工件。電鑄用模具的選用則具多
樣化，導體、非導體及光阻製作之母模均是選擇範圍。電鑄品主要是強調機能性，
因此鑄品的硬度、拉伸強度等機械特性受到重視。
2. 機台外觀
1 國立高雄第一科技大學機械系 余志成 © 2004
微系統製造實驗室─微電鑄機台操作手冊
2.1 電鑄槽主體
排風裝置
電鑄槽
2.2 過濾及循環攪拌系統與熱交換系統
自動液體補充裝置
熱
交
換
器
過
濾
器
2 國立高雄第一科技大學機械系 余志成 © 2004
微系統製造實驗室─微電鑄機台操作手冊
1. 熱交換系統
鈦製螺旋狀圓管加熱裝置
過濾系統抽水馬達
2. 自動液體補充裝置
蓄水槽
SENSOR
3 國立高雄第一科技大學機械系 余志成 © 2004
微系統製造實驗室─微電鑄機台操作手冊
2.3 溫度控制箱
溫
度
控
制
箱
2.4 整流器
機台外觀：
面板說明：
4 國立高雄第一科技大學機械系 余志成 © 2004
微系統製造實驗室─微電鑄機台操作手冊
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