国产高能量电子枪的研发-《物理》杂志.PDFVIP

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国产高能量电子枪的研发-《物理》杂志

前沿进展 国产高能量电子枪的研发* 2015-06-14收到 † email:guofz@hotmail.co.jp 游 燕 臧 侃 郭方准† DOI:10.7693/w (大连交通大学 先进装备技术研究所 大连 116028) Development of domestic high energy electron gun YOU Yan ZANG Kan GUO Fang-Zhun† ( Institute of Advanced Equipment Technology,Dalian Jiaotong University ,Dalian 116028,China) 摘 要 文章介绍了自主研发的高能量电子枪的原理、设计和测试结果。该电子枪 主要由电子发射组件、电磁聚焦组件、电磁偏转组件、差分抽真空维持机构和控制电源构 成,可以发射、聚焦并偏转高能量电子。测试结果显示,电子枪发射的电子能量最大可达 30keV,加速电压和发射电流成正比例对应关系,电子束斑直径在100µm以下,电子束偏 转角度大于5°。通过实测Si(111)单晶体,获得了良好的电子衍射图像。 关键词 电子衍射,电子枪,电磁聚焦,电磁偏转,表面科学 Abstract The principle, design and test results of a domestically made high-energy elec- tron gun are described. It consists mainly of a filament, electromagnetic focusing lens, electromag- netic deflection lens, differential vacuum pumping unit, and power supply. It is capable of produc- ing high energy electrons up to 30 keV. The electron beam can be deflected more than 5° and the beam size focused to less than 100 µm. The acceleration voltage is found to be directly proportion- al to the emission current. Details of the design and test results are reported. Keywords electron diffraction, electron gun, electromagnetic focusing, electromagnetic deflection, surface science 固体表面的原子由于失去本体原子的排列周 径小、强度大和入射角度可调等功能。我国目 期性,会表现出一系列不同的物理化学性质。在 前尚无国产的用于表面科学领域的高能量电子 理论和应用领域备受关注的纳米科技,归根结底 枪,相关产品过度依赖进口,不仅使我国的科 [1] 就是表面科学的一部分 。表面科学的研究离不 学研究受制于国外,也限制了我国自主创新的 开各种表面分析仪器,典型的分析仪器有电子显

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