曝光机操作手册.docVIP

曝光 目錄 目錄 ………………………………………………………………2 曝光………………………………………………………3 基本操作說明 ……………………………………………………4 人機介面操作說明 ………………………………………………5 3.1 開機分頁單選畫面 …………………………………………5 3.2 取放光罩 ……………………………………………………6 3.3 單動控制頁 …………………………………………………7 3.4 自動控制頁 …………………………………………………8 3.5 照度測試 ……………………………………………………9 3.6 參數資料設定及設備功能設定選單 ………………………10 3.6.1 參數資料設定選單 …………………………………10 3.6.2 設備功能設定選單 …………………………………12 UV 曝光燈源-電源供應器調校 …………………………………13 UV 燈管更換 ……………………………………………………14 技術資料 ……………………………………………………15 七、附件 曝光曝光准 圖一 圖二 基本操作說明 1.開機　　 電源開關置於左側控制面板，面板左方為警急停止鈕(EMO)，右方為電源開關按鈕。電源開啟後系統即正常待命。 2.UV燈源 　　曝光机 圖三 UV光源 電源供應器 3.CCD移動與調整 當CCD移動至中央對位位置後，可利用手把按鈕進行調整即X-Y軸之調整， 如需細部調整可利用CCD固定座(左右兩側)之測微頭做調整。CCD之倍率和焦 距可以在其中間和較前方位置做調整(同為無段旋轉調整)。 4. 曝光曝光 圖五 3.2 取放光罩 1.本功能頁面如圖六 Open/Close為掀蓋板的控制。 Mask Vac為光罩吸附，即更換光罩之按鈕。 圖六 3.3單動控制頁 如圖所示，本控制頁按鈕皆為單一動作，主要用於各動作檢測是否正常 (如測量光源、CCD、曝光頭移動速度之調校…等)。建議平時勿以本頁面作為 操作頁面。若返回上一個頁面。先按右下角(RESET)，再按左下角鍵返回上一 個頁面。 圖七 Open/Close： 蓋板開啟/關閉 Chuck vac : Chuck 真空 Mask vac ： 光罩真空吸附 Shutter： UV Shutter開啟/關閉 Bowl vac ： 球座真空(常態為真空狀態) 吸盤 SOL ： 吸盤之真空按鈕 CCD上下SOL： CCD之升降 UV 左/右： 曝光燈座移至中央 Z ADJ. SOL： 小氣壓缸升降 Z axis Move Up： Z軸上升 Z axis Move Dn： Z軸下降 3.4自動控制頁 1.頁面如圖八。頁面中長方形按鈕即為操作按鈕，畫面下方為輸入曝 光時間、曝光間距、對位間距，使用者亦可使用控制盒對應之按鈕 操作。 2.操作方法 (1)將晶片放置定位，按下取放材料鈕，晶片隨即吸附。確認後按下 載台開啟載台自動蓋起。 (2)在平整校正前，請先設定Exposure time(曝光時間)、Align Gap (對位間距)、Expose Gap(曝光間隙)，設定完成後按下平整校正 做Leveling動作。此時可