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简介 Introduction 深圳市捷佳伟创微电子设备有限公司管式高温扩散炉（Horizontal high temperature diffusion furnace)适用于单多晶硅电池片生产中的工艺片磷扩散处理。 设备优势分析 技术发展要点 主要技术指标 捷佳伟创管式扩散炉优点 5段自动适时恒温区的串级温控 技术特点——5段自动适时恒温区 串级温度控制与普通温度控制的效果 有效的气体处理 进口数字式质量流量计 进口阀门、管道、管接头 进口过滤器、冷阱 分立系统，方便维修更换 高密封性能，防腐、防污染 标准元件、接口 统一安装模式 气路原理图 闭管、软着陆扩散 炉门口的吹扫、清洁和快冷 气幕隔离 工艺舟软着陆 炉口处理技术（清洗、快冷） 技术特点——炉口处理技术（隔离） 炉门口技术优势分析 推舟净化柜中的前置式两维驱动 精密直线导轨副配合精密丝杆副传动 步进电机及数字通讯驱动器作驱动 计算机通过通讯方式给驱动器发出控制信号 可精确控制步进电机256细分，达到稳定可靠转速 计算机控制系统 控制系统优势 悬臂桨的进出料运动与软着陆的上下运动，均运用通讯控制的256细分马达驱动器， 防止运动过程中的阻步、丢步现象，从而确保机械运动的高度稳定与重复性。 数字式MFC的运用，确保了反应气体流量的控制精确、稳定、无干扰，对工艺生产的 重复稳定控制具有非常有益的帮助，通过配合串级温度控制，可极大的提高工艺批次 间的品质。同时具备手动设置调整功能，极大的方便设备测试、维护工作的开展。 自动装卸舟 自动装卸舟功能的实现将大大的提高扩散工序的自动化操作程度 高度的重复性，避免了人工操作的随意性对工艺产生的影响。 全套动作由独立监控电脑控制，各种动作通过电机与导轨配合自动完成，系统通过 与各管工位现场计算机及到位传感器进行联锁，保护舟及反应片的安全。 单、多晶兼备 具有氧化炉的配备技术： 同样的设备，气路原件配置不同，可以配成氧化炉 使设备既能做扩散，又能做氧化 为单晶、多晶做扩散工艺 为多晶做钝化工艺 3M的高度可配4管 3.4M的高度可配5管 管径为Φ300mm 氮气流 送气管 电池片 石英舟 e 进舟 退舟 高温扩散炉 Shenzhen S.C Exact Equipment Co., Ltd 提高洁净度 减少偏磷酸生成 水平洁净流层 进炉吹扫 闭管 高温扩散炉 Shenzhen S.C Exact Equipment Co., Ltd 方便操作，减少人员因素的影响 推舟的速度在1～1000mm/min内无级变化 工艺反应过程中，悬臂桨外置，实现真正的闭管扩散 自动机械手实现自动装卸舟功能，实现高度自动化 单管单控的计算机控制系统 数字化控制，消除了模拟变量传输的干扰 自动装卸舟 高温扩散炉 Shenzhen S.C Exact Equipment Co., Ltd 单管单控的计算机控制系统 工控机软件功能强大,人机接口界面友好: ⑴有工艺程序集中编辑功能。 ⑵有计算机手动调试界面。 ⑶工艺运行中,可方便地实现跳步﹑在线编辑﹑修改。 ⑷具有程序断点启动功能。 ⑸具有超温﹑断偶报警保护及自动斜率升降温和故障自 诊断功能。 ⑹能存储200条以上工艺曲线。 (7)全中文图示，直观、易懂、方便 高温扩散炉 Shenzhen S.C Exact Equipment Co., Ltd 高温扩散炉 Shenzhen S.C Exact Equipment Co., Ltd 高温扩散炉 Shenzhen S.C Exact Equipment Co., Ltd 高温扩散炉 Shenzhen S.C Exact Equipment Co., Ltd 减少能耗、降低运行成本 高温扩散炉 Shenzhen S.C Exact Equipment Co., Ltd 国内外主流太阳能电池扩散设备的主要比较 项目 主要技术差异比较 捷佳伟创DS300A扩散 Centrotherm扩散 国内某研究所新扩散 其他国产扩散 说明 1 炉口废气处理及电池片除尘、快速冷却 具备独特的炉口废气处理技术，同时拥有有效的电池片进炉前吹扫除粒子、出炉快