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溶胶！凝胶法制备纳米多孔#$%薄膜！
第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 7% % %$$# % ， ， ， MS; 17% VS 1 % KBDB4WBX %$$# （ ） $$$,#%’$G%$$#G7% % G##$,$7 H/(H I0T+U/H +UVU/H !%$$# /R-3 1 IRY 1 +SD 1 溶胶 凝胶法制备纳米多孔 薄膜! ! #$% 何志巍 甄聪棉 兰 伟 王印月! （兰州大学物理系，兰州 #$$$$ ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） %$$# %$$# # %’ 以正硅酸乙酯（ ）为原料，采用旋转涂敷的方法，结合溶胶 凝胶技术在硅衬底上制备超低介电常数多孔 ()*+ , 薄膜 采用两种不同的改性方法对薄膜表面进行改性，傅里叶变换红外光谱分析发现改性后薄膜中含有大量 +-* . % 的— 键，从而减少了孔洞塌陷 用扫描电子显微镜观察薄膜的表面形貌，发现薄膜内孔洞尺寸在 — 之 /0 1 $ 2$ 34 # 间 调节溶胶 值，发现 值越小凝胶时间越长 对改性样品热处理的结果表明，在 时介电常数最低达 . 50 50 . #$$ 6 % .$7 1 关键词：多孔 ，低介电常数，溶胶 凝胶 +-* , % ： ， ， ’(( 88$ 9%20 8$ 孔材料以其可实现多组分均匀掺杂和大面积成膜等 ［］ 优点而倍受瞩目 用溶胶 凝胶方法制备的多孔 . 引 言 1 , 具有超低介电常数（ ）和良好的机械强
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