基于莫尔信号的超精密复合定位研究 - 工程技术版.PDFVIP

第 11 卷第 1 期 南京师范大学学报( 工程技术版) Vol． 11 No． 1 2011 年 3 月 JOURNAL OF NANJING NORMAL UNIVERSITY( ENGINEERING AND TECHNOLOGY EDITION) Mar ，20 11  基于莫尔信 号 的超精密 复合定位研究 1 1 2 3 1 ， ， ， ， 徐 慧 张金龙 刘京南 内田敬久 郭怡倩 ( 1． ， 210042 ; 南京师范大学 电气与自动化工程学院 江苏 南京 2 ． ， 210096; 东南大学 自动化学院 江苏 南京 3 ． ， 470-0392) 日本爱知工业大学智能机械工学科 丰 田市 ［ ］ ， ， 摘要 应用光学理论研究了透射式激光莫尔信号 的位移特性 建立 了衍射莫尔信号强度与对应位移 的数学模型 并通过计 ． ， 算机仿真对莫尔信号 的位移特性进行 了研究 在此基础上设计 了一套基于激光莫尔信号 的超精密定位系统 系统取透射的零次 ， ． ， 莫尔信号为控制信号 由微机控制实现高精度位置检测及精密 自动定位 针对精密定位高精度与大行程之间 的矛盾 提 出了一 ， ， 种利用一对细光栅实现复合定位 的解决方法 通过粗定位和精定位相结合 的两段式 复合定位 可保证在较大的信号捕捉范 围 ， ． ， 、 ． ， 内 实现高速高精度定位 由于系统仅使用一对光栅 结构简单 可靠性高 实验结果表明 基于一对衍射细光栅 的复合式精密定 ± 500 m ± 10nm ， ． 位可在 μ 信号捕捉范 围获得