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SMDS ———一个采用面向对象技术设计的半导体器件 ... - 电子学报
第 2 期 电 子 学 报 Vol . 28 No . 2 2000 年 2 月 ACTA ELECTRONICA SINICA Feb . 2000 SMDS ———一个采用面向对象技术 设计的半导体器件模拟软件 杨廉峰 ,吴 金 ,刘其贵 ,魏同立 ( 东南大学微电子中心 ,南京 210096) 摘 要 : 本文采用当今流行的面向对象技术设计完成了一个半导体器件模拟软件 ———SMDS( SubMicron Device Simulator) ,讨论了在网络并行计算等方面扩展的可行性 ,并通过实例验证了该软件的有效性. 关键词 : 器件模拟 ; 软件设计 ; 面向对象技术 中图分类号 : TN405 文献标识码 : A 文章编号 : (2000) SMD S ———A Semiconductor Device Simulator De signe d with Obj ectorient e d Technolo gy YAN G Lianfeng ,WU Jin ,L IU Qigui ,WEI Tongli ( ) Microelectronic Center , Southeast University , N anj ing 210096 , China Ab stract : This paper introduces a semiconductor device simulator ———SMDS ,designed with obj ectoriented technology ,enclos ing the simulation analysis result of some devices ,and the advantage of the software extension . This paper also gives out an effective method of construction of the deep submicron semiconductor device simulator . Key word s : device simulation ;software design ;obj ectoriented technology 1 引言 米通用器件模拟软件 以及在网络并行计算方面扩展的可行 近四十年来 ,微电子技术发展迅猛 ,并在各个领域内得到 性 ,为深亚微米半导体器件模拟系统的建立奠定了基础. 了广泛的应用. 微电子工艺水平 目前已发展到了深亚微米阶 2 方程离散化及求解 段 ,并逐步向纳米阶段迈进. 器件设计变得 日益复杂和困难 , ( ) 并对器件模拟软件工具提出了越来越高的要求. 本文采用经典的漂移扩散模型 DDM
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