蒸发法真空镀膜-教材.pdfVIP

。力的上积面 2mc 1 在用作)柱汞(柱银水高 mm 1 时 ℃0 指是 gHmm 1 �)gHmm(柱汞米毫 .gHmm 067 ≈ a 52310 1 = m ta 1 �)mta(压气大准标 .2m/N 1 = a 1 。位单力压定法国我 �位单力压中制位单际国 �)a (卡斯帕 �有位单力压的用常 。高越度空真 �低越值力压 �低越度空真 �高越值力压 。示表来值力压的体气用度 空真常通 。度程薄稀的体气间空下态状空真量度来度空真 用常中术技空真 位单量测及度空真 �1 】理原验实 【 �法方和理原本基的膜镀发蒸握掌 习学 �4 �识知本基的膜镀空真解了 �3 �法方及理原本基的量测和得获的空真高 、低握掌 �2 �识知本基的术技空真解了 �1 】的 目验实 【 。膜薄成形上底衬镀被在结凝地固牢子分或子原的化 气使下件条定一在并 �化气料材膜镀使术技等射溅和发蒸用采中件条空真在指是 膜镀空真 。等膜镀学化 、延外束子分 、射溅 、发蒸有要主法方的用采所膜镀空真 。中域领等究研学科及以学科面表 、装包 、械机筑建 、器仪化理 、发开源能 、学子 电 、学光于用应地泛广已它 �支分要重个一的术技用应空真是术技膜镀空真 。用应的泛广有 中产生业工在 �位 地键关有占都中作工等器速加子粒能高 、学科间空 、术技膜薄 、学科面表如 �术 技学科端尖代近在术技空真 。等等低点化汽 、小染污体气 、小用作化氧 、小流对 与导传热如诸 �性特化物的新列系一有具其致导这 �少减对相亦数次的上面表体 固于撞碰 内间时的定一在子分 �少减数次撞碰的间之子分他其与子分体气或间之 子分体气 �下态状空真在 。的在存不是上际实空真对绝 。空真对绝为称态状间空 的体气有没全完 。态状体气的力压气大境环于低内间空定指在指是 ”空真 “ 膜镀及量测 、得获的空真 。响影的度空真限极对们它除消以 �腔空害有切一的内腔泵了满充还油 �时同 。封 密的间之腔气排与腔气吸成形 �盖覆油被面表动运的有所 内腔泵使 �腔泵入进阀 气排及孔油 、隙裂的上体泵过通油 。中泵入流气大止防以里油在浸阀气排 。出排阀气排从缩压体气入吸已将积容面方 口气排小缩渐逐 时同 �体气入吸而大扩渐逐积容面方 口气进 。阀气排—5 �簧弹—4 将地性期 周时转旋 内缸子定在子转 当 �子转— 3 �片旋—2 �子定— 1 图理原作工泵械机式片旋