范例--仪器简介(SEM).doc.docVIP

中/英文名稱 掃描式電子顯微鏡? / Scanning Electron Microscope??(SEM) 電子顯微鏡是一種觀察表面微觀世界的全能分析顯微鏡，隨著科學技術的進步，其類型和用途也不斷更新與發展。本儀器利用加負壓於金屬尖端上，以強電場將電子吸出尖端而形成很微小的電子束，在極高的真空中操作可得到高品質分辨率的影像，普遍的使用在非導電性樣品的觀察上，如生物 (種子、花粉、細菌)、食品(澱粉、微生物)、醫學 (血球、病毒)、動物 (內臟、絨毛、細胞、纖維)、材料 (陶磁、高分子、粉末、環氧樹脂)、化學、物理、地質、冶金 、礦物、機械、電機及導電性樣品如半導體 (IC、線寬量測、斷面、結構觀察)、電子材料等。並配置能量分散式光譜儀（Energy Dispersive Spectrometer 簡稱 EDS）可做各種化學元素微量分析之定性及半定量，並提供了真空鍍膜（鍍金及鍍碳）設備服務。 圖片 功能說明 掃描式電子顯微鏡(SEM)可進行高倍率顯微影像觀察，並藉由能量元素分析儀(EDS)分析未知樣品上所含有的成分，可得知各個元素所含有的重量百分比以及原子量百分比，進而可以分析各個元素的分布情況。 樣品所含元素比例 Element Weight% Atomic% Ag L 73.23 84.13 Bi M 26.77 15.87 Totals 100.00 元素圖譜 圖A、各元素在樣品上之分布情形 圖B、Ag元素分布圖 圖C、Bi元素分布圖 元素分布圖 圖A、各元素在樣品上分布情形 圖B、各元素分布圖 圖C、Ag元素分布圖 圖D、Bi元素分布圖 線性分析圖 服務對象 生技產業、食品研發類、農林漁牧業、化學工業、環保科技業、金屬工業、半導體公司等相關廠商、校內師生 服務項目 1.二次電子影像觀察(SE)。 2.背向電子影像觀察(BSE)。 3.元素半定量分析(EDS) 。 4.樣品臨界點乾燥。 5.樣品鍍金處理。? 聯絡人 貴重儀器中心 莊淑瑛 小姐 suin@mail.npust.edu.tw; (08)7703202 ext 5430 購置年代 儀器廠牌/型號 日本HITACHI? S3000N 儀器規格 二次電子影像解析：3.0nm（高真空模式，加速電壓25KV) 背向散射電子影像解析度：4.0nm（可變壓力下，加速電壓25KV） 倍率範圍：X5～X300,000（153段） 加速電壓：0.3～30KV? SEM、EDS、電子顯微鏡、元素分析 收費標準 ?1.電子顯微鏡(含SE、BSE、EDS): 300元/小時 2.臨界乾燥機: 00元/次(11樣品) 3.離子覆膜機(鍍金機): 400元/次(7個樣品座) 注意事項 1. 樣品厚度在 3mm 以下者，樣品面積以 7×7mm 見方為限，試片裁取自行處理，並請保持試片乾淨。 2. 本中心提供之標本處理為臨界點乾燥與金屬離子鍍膜，其餘標本之固定，脫水及其它特殊處理等，請申請者自理。 3. 樣品含量高量油脂、蠟質、在電子束照射下會分解及釋出大量氣體之樣品、及自行乾燥處理但含水量仍高之樣品，恕不受理。 4. 使用前須先與管理人員洽談樣品內容、處理方式後再決定是否進行試驗。 5. 本儀器拒絕受理(1)含有毒性、腐蝕性、揮發性及低熔點等之試樣；(2)具磁性試樣。