PECVD桨的位置设定剖析.pptVIP

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2017-06-01 发布于湖北
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PECVD桨的位置设定剖析.ppt

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PECVD桨的位置设定剖析

步骤4、点击position出现下图状态（进入对桨的水平位置设定的状态），如下图。步骤5、点击setpoint出现下图状态（进入对桨的水平位置值得设定状态）,如下图。 minimum=0mm、maximum=2082mm、default（默认值）=0 mm. 2 桨的垂直位置桨的垂直位置可分为上位和下位（作用是将舟在炉管托起和放下的作用） PECVD桨的垂直位置的设定桨的上下位设置步骤1、进入CEASAR界面，如下图步骤2、点击Mannual 出现下图的状态（进入人工操作状态），如下图图15 步骤3、点击Boat出现下图状态（进入对桨的位置设定的状态），如下图步骤4、点击SLS出现下图的状态（进入对桨的上下位设定）图16 步骤5、点击setpoint出现图下的状态（进入对桨的上下位值的设定）图17 步骤6、点击GoUp出现下图的状态（进入桨的上位设定）图18 点击GoDown出现下图状态(进入对桨的下位设定）图19 PECVD开炉门桨的位置设定步骤1、进入CEASAR界面，如下图步骤2、点击Mannual 出现下图的状态（进入人工操作状态），如下图步骤3、点击Boat出现下图状态（进入对桨的位置设定的状态），如下图步骤4、点击position出现下图状态（进入对桨的水平位置设定的状态），如下图步骤5、点击setpoint出现下图状态（进入对桨的水平位置值得设定状态）。步骤6、输入22 出现下图的状态（进入开炉门时桨的位置的设定）开炉门时的状态 PECVD桨位置设定培训要点桨的运动分类桨的水平位置的设定桨的垂直位置的设定桨开炉门时的位置的设定桨运动分类桨由碳化硅材料制成，具有耐高温等性能。作用是将石墨舟放入或取出石英管。桨运动可分为： 1、EFM水平运动; 2、SLS垂直运动. 桨的水平位置的设定步骤1、进入CEASAR界面，如下图。图5 步骤2、点击Mannual 出现下图的状态（进入人工操作状态），如下图。桨的水平位置的设定步骤3、点击Boat出现下图状态（进入对桨的位置设定的状态），如下图。