旋转体表面轮廓测量的激光多普勒信号研究.pdf

第 卷 第 期 中 国 激 光 ， 年 月 ， 文章编号： （ ） 旋转体表面轮廓测量的激光 多普勒信号研究 贺顺忠，刘金凤，蒋诚志，陈林才，姚 欣 （天津大学精密仪器与光电子工程学院测试计量技术及仪器国家重点实验室，天津 ） 摘要 在利用激光多普勒效应对旋转体表面轮廓损伤进行测量时，其散射光的多普勒信号强度及质量是影响测量 精度的极其重要的参数。研究了激光多普勒参考光技术、旋转体表面散射光位相无规则变化的平均效应和最小二 乘法曲线拟合技术，设计出高信噪比的参考光路，并对物体表面细微结构所引起的信号丢失进行了重构，实现了旋 转体表面轮廓损伤的测量，其相对误差约 。 关键词 精密工程测量；表面轮廓测量；激光多普勒效应；最小二乘法曲线拟合 中图分类号 文献标识码 Study on Doppler Signal of Outline Measurement of Revolving Object Surface ， ， ， ， （ ， ， ， ， ） Abstract ， ， ， ， ， ， Key words ； ； ； 引 言