浅谈高频干扰对硅芯炉的影响及防护措施.pdfVIP

团■口 豳磊 材料制备鱼工艺薹与设备鱼 浅谈高频干扰对硅芯炉的影响 及防护措施 吴 斌，姚 婕 ，雷小博 (西安理工晶体科技有限公司，陕西 西安710077) 摘 要 ：高频电源是硅 芯生产设备 中的重要组成部分。 目前硅 芯炉都具备单炉次拉制 多根硅 芯 的能力。与早期拉制单根设备相 比需要母料的体积加大．直径不断加粗。母料体积越大，就越难熔 化，因此高频 电源都需要提高振荡频率来熔化更粗的母料 。伴随着振荡频率增加高频噪声也相应 增加。同时对硅芯炉电气控制柜及其 内部的电气元件的干扰也就随之增大。主要分析高频噪声对 硅芯炉运行产生的干扰及其原 因和危害。同时针对这些干扰提 出一些防护措施。 关键词 ：高频电源，硅芯炉 ，高频噪声，防护措施 中图分类号 ：TF806．9 文献标识码 ：A 文章编号 ：1004．4507(2012)04—0013．04 Shallow AnalysisonEffectfrom High-frequency Interference andProtectionW aysforSiliconCoreFurnace W U Bin，YAO Jie，LEIXiaobo (XUATCrystalGrowingTechnologyCoLtd，XiA’n710077，China) Abstract：Highrfequencypowersupplyisan importantunitofsilicon coreproduction process．At present，Silicon corefurnacehasachievedtheabilitytoproduceseveralsiliconrodsduring each productioncycle．Comparingwiththeoldversionfurnaceduringeachproductioncycleonlyproducing singlesilicon rod，the diameterofitsoriginalsilicon rodbecomeslarger．Thelargertheoriginal siliconrodis，themoredifficultitistomelt．In ordertoensuretheoriginalsiliconrodmelting，the tankcircuitrfequencyofthepowersupply isrequested increase．Thisleadstothehigh—frequency electricalnoiseinevitablyincreasedwhichmayaffecttheelectricalcontrolcabinetrunsometimes ． This paperanalyzesthe disadvantagesofthe silicon rod furnace，which ariseby thehigh—rfequency electricalnoiseincluding itsharm andreason．Bytheway，italsosuggestssomevalidandpractical protectionways． Keywords：SiliconCoreFumace，High—rfequencyelectricalnoise，Protectionways 收稿 日期 ：2012．02．01 材料制备工艺与设备 电 子 工 业 专 用 设 备 I 早期的硅芯炉单炉次只能拉制 1根硅芯，其 工