脉冲激光沉积有机薄膜.pdfVIP

·46· 材料导报 脉冲激光沉积有机薄膜’ 王卫1，李承祥1，盛六四1，张国斌1；王淑芬2 (1 中国科学技术大学国家同步辐射实验室，合肥230027；2山东理工大学数学与信息科学学院，淄博255049) 摘要 脉冲激光沉积(PID)技术是一门新兴的薄膜制备技术，在无机薄膜的制备和研究方面取得了令人满意 的成果，技术也比较成熟。但利用脉冲激光沉积技术制备和研究有机膜方面的工作开展较晚，工作也比较少，尚未形 成一个出较系统的体系。因此开展有机薄膜的脉冲激光沉积研究将具有重要的意义。 关键词 脉冲激光沉积有机薄膜有机杂化膜复合薄膜 PulsedLaser of ThinFilms Deposition Organic Shufen2 WANGWeil，LI Liusil，ZHANGGuobinl，WANG Chengxian91，SHENG and (1NationalSynchrotronRadiation ofScience ofChina，Hefei230027； Laboratory，UniversityTechnology 2 SchoolofMathematicsandInformation of Science，ShandongUniversity 255049) Technology，Zibo AbstractPulsedlaser a forthe ofthin deposition(PLD)isnewly-risingtechnologydepositionfilms．Many havebeenachievedinthe andrese．flxchof thin the isSO— films．And satisfyingfindings deposition inorganic technology is thatthe 1aser andresearchof thinfilms todevel— phistieated．However，itonly1ately pulseddeposition organic began researchhasbeendoneinthisdomainno isestablished．Sotheresearchonthe laser op．Little systematicsystem pulsed of thinfilmswillbe depositionorganic significant． words laser thin Key pulseddeposition，organicfilms，hybridfilms，multi-layers 趣，促进了脉冲激光沉积技术的飞速发展[2]。近年来，人们将脉