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8-化学气相沉积法
材料合成技术与方法 材料合成技术与方法 第八章化学气相沉积 参考材料 8.1 化学气相沉积法发展 1、教材，第四章 8.2 化学气相沉积法原理 2、无机材料合成，刘海涛等，化学工 业出版社，P229 8.3 化学气相沉积法合成工艺 8.4 化学气相沉积法应用实例 材料合成技术与方法 材料合成技术与方法 8.1 化学气相沉积法发展 气相合成法，把相关物料通过加热蒸 古人类：取暖或烧烤-无意识 发或气相化学反应后高度分散，然后再 古代中国：升炼 20世纪50年代：刀具涂层 冷却凝结成超细颗粒 20世纪60年代初：美Blocher 蒸汽镀-CVD-PVD 材料合成技术与方法 材料合成技术与方法 1、概念 8.2 化学气相沉积法原理 Chemical vapor deposition，CVD） 化学气相沉积 （ 1、概念 气态物质 2、特点 加热 能源 等离子激励 反应性气体 3、反应原理 光辐射 CH 4 4、热动力学原理 气相或气固界面 5、适用范围 化学反应 基片 化学气相沉积技术 固态沉积物 1 材料合成技术与方法 材料合成技术与方法 2、特点 3、反应原理—反应类型 ⑴热分解法 保形性 ⑵氧化还原反应 成分可控
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