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洁净室测试方案
IVO A11 CLEANROOM PACKAGE
CLEANROOM PERFORMANCE TESTS
CONTENT
CLEANROOM LAYOUT AND REQUIREMENT
CLEANROOM PERFORMANCE TEST ITEM
CERTIFICATION OF CLEANROOM PERFORMANCE
AIR FLOW VELOCITYVOLUME TEST
FILTER LEAKAGE TEST
AIR BORNE PARTICLE COUNT TEST
ILLUMINATION TEST
NOISE LEVEL TEST
ROOM PRESSURIZATION TEST
TEMPERATURE AND HUMIDITY TEST
REFERENCE
Certification of Cleanroom Performance Test Item
No. Test Item ISO 1.5 Class 10 at 0.1μm ISO 5 Class 100 at 0.5μm ISO 6 Class 1K at 0.5μm 1 2 3 1 2 3 1 2 3 A Air Flow Velocity Test ○ ╳ ╳ ○ ╳ ╳ ○ ╳ ╳ B Filter Leakage Test ○ ╳ ╳ ○ ╳ ╳ ○ ╳ ╳ C Air Borne Particle Count Test ○ ╳ ╳ ○ ╳ ╳ ○ ╳ ╳ D Illumination Test ○ ╳ ╳ ○ ╳ ╳ ○ ╳ ╳ E Noise Level Test ○ ╳ ╳ ○ ╳ ╳ ○ ╳ ╳ F Room Pressurization Test ○ ╳ ╳ ○ ╳ ╳ ○ ╳ ╳ G Temperature And Humidity Test ○ ╳ ╳ ○ ╳ ╳ ○ ╳ ╳ REMARKS: 1. 1.As Built ; 2:At-Rest ; 3:Operating 2. ○:LK Guarantee. △: For Reference Only. ╳: No Include. CERTIFICATION OF CLEANROOM PERFORMANCE
AIR FLOW VELOCITY TEST
测试仪器：
测量风速及压力组 MAKER: SHORTRIDGE INSTRUMENT INC. MODEL: ADM-870C ACCURACY：±3﹪
测量风量组 MAKER: SHORTRIDGE INSTRUMENT INC. MODEL: FLOWHOOD
测试步骤：
每块Filter测试9点风速。
测试点置于Filter下方不约6吋(15cm)处量测。
计算每片Filter量测值之平均风速。
测试点：
每一Filter之出风表面均需测试。
记录：
记录于表格。
验收标准：
每一FILTER之风速需符合下列条件：
每只Filter平均风速：0.35m/s ± 20% (0.28-0.42m/s)
90%单点量测值：0.35m/s ± 20% (0.28-0.42m/s) 1.1200mm×1200mm风量为0.432CMM。 2.1200mm×900mm风量为0.324CMM。 3.1200mm×600mm风量为0.216CMM。
FILTER LEAKAGE TEST
测试仪器 :
PARTICLE COUNTER MAKER：PMS MODEL NO：LASAIR-110 SPECIFICATION：SAMPLING FLOW RATE：1 CFM PARTICLE SIZE：0.1, 0.15, 0.2, 0.25, 0.3, 0.5, 0.7, 1.0μm
PARTICLE COUNTER MAKER：PMS MODEL NO：LASAIRⅡ-310A SPECIFICATION：SAMPLING FLOW RATE：1 CFM PARTICLE SIZE：0.3, 0.5, 1.0, 5.0, 10, 25μm
AEROSOL GENERATOR MAKER：PALAS MODEL NO：AGF 2.0IP
AEROSOL DILUTER MAKER：PALAS MODEL NO：VKL-100S
测试步骤：
启动被测漏之FFU，利用 Particle Counter之采样器置于Filter下约2.5-3.0公分左右，以不超过 10FPM(0.05M/S)之速率沿着ULPA之表面做有规律扫描。
采样器扫描进行中，需同时观察Particle Counter之仪表显示值，当侦测到瞬间有4个以上之Particle时，则改以 1 FPM 之速率
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