薄膜锰铜计对100GPa动压的测量.pdfVIP

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2017-05-17 发布于湖北
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薄膜锰铜计对100GPa动压的测量.pdf

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薄膜锰铜计对100GPa动压的测量

．；l 动豢砑÷露… j劳糍 i …一一一。薄膜锰镉计对的测量杨邦朝杜晓松口一、引言摘要l为拓展锰铜传感器白高压_；爨}|试上限÷本文采黾薄膜技术研裁了一群自上世纪六十年代以来，锰新銎的锰诵蹙感器，该传惑器采黾氧化铝麴装?后置式结构．两步薄膜I 铜压阻计就被广泛用于动态压艺铀作，稳黾二级轻气炮迸行了40～’07Gpa的冲击高压蠲载．试验波形 7819{△ 力的测试中，在爆炸、高速撞击、呈现出一理想的平台÷寿命为1出s，标定益线px{Gpa}=6。0371+29 高能粒子束轰击等条件下，直接测量冲击波的压力。该种传感器关键谪?锰锅传感器薄膜超亳压力溺试具有50GPa的测压上限，是现有行封装，会引入粘接剂的旁路效曲线近似于一条直线，压阻系数传感器中最高的，但是仍然不能应。粘接剂的高压绝缘性能最为0．0198±0．0002GPa～。以上结满足特殊工程的需要。因此，迫差，而它又与敏感元件直接接果验证了该种薄膜锰铜计对切需要对现有传感器的结构、材触，因此该种传感器的有效量程 100GPa以上超高压力进行直接料、工艺等进行重新设计。限制在20GPa以下。为充分利用测量的可行性。在文献[1]中，我们对锰铜传无机材料绝缘性能好的优势，须感器的研究现状进行了分析，认研制不含粘接剂的新型的封装二、实验为现有封装材料和封装工艺是工艺。同箔式锰铜传感器一样，薄影响该种传感器压力测试上限本吱尝试用薄膜技术对传膜式锰铜传感器也采用三明治进一步提高的障碍所在。目前常统的箔