多晶硅副产物二氯二氢硅的应用研究.pdfVIP

2014年6月第 3期 多晶硅副产物二氯二氢硅 的应用研究——石何武 杨永亮 汤传斌 等 ·53· 多 晶硅 副产 物 二 氯 二 氢 硅 的应 用 x0t-究 石何武 杨永亮 汤传斌 肖荣晖 严大洲 (中国恩菲工程技术有限公司，北京 100038) [摘 要] 主要针对多晶硅生产过程 的副产物二氯二氢硅在还原、氢化、反歧化等工序 中的应用进行研究，以期通 过合适的处理方法提高多晶硅生产过程中的原料利用率并进一步降低多晶硅的生产成本。 [关键词] 多晶硅 ；二氯二氢硅 ；反歧化 ；冷氢化 ；还原 [中图分类号]TK51 [文献标志码]A [文章编号]1008—5122(2014)03—0053—03 Application Research ontheBy-productDichlorosilane 0fP0lycrystaUineSilicon SHIHe—WU，YANG Yong—liang，TANG Chuan—bin，XIAO Rong—hui，YAN Da—zhou Abstract：Fortheapplicationofthebyproductdichlorosilanewhich isgeneratedinthepolyerystallinesil— iconproductionintheoperationunitsofreduction，hydrogenation，anti—disprop0ni0nati0nandSOonisre— searched，andwithapropertreatmentmethod，theraw materialutilization ratiointheprocessofpoly— crystallinesiliconproductionisincreasedandtheproduction costofpolycrystallinesilicon isfurtherre— duced． Keywords：polycrystallinesilicon；dichlorosilane；anti—disproportionation；hydrogenation；reduction 多晶硅作为信息化产业和太阳能光伏产业的基 在提高多晶硅生产过程中硅 、氯等元素的利用效率 础原材料 ，在现代能源领域有着不可替代 的作用。 从而有效降低多晶硅生产成本和物料消耗 。通过合 改良西门子生产工艺所产多晶硅 占多晶硅市场份额 理的回收利用方法解决了二氯二氢硅的安全贮存性 的85％以上 。随着生产技术水平的不断提升 ，其 问题及其环境污染 问题 ，真正实现了改 良西 门子工 流程得到进一步的优化 ，能耗逐步降低 ，但该生产工 艺的零排放 目标 。 艺过程中的三氯氢硅合成 、四氯化硅氢化 以及三氯 氢硅还原等工序均会产生一定量的副产物二氯二氢 1 二氯二氢硅处理方法简介 硅。二氯二氢硅化学性质活泼，危险性极高，表现为 针对改 良西门子多晶硅生产工艺的特性 ，二氯 易燃易爆 ，与空气混合后在很宽的浓度范围内均可 二氢硅 的主要处理方法有二氯二氢硅进还原、二氯 爆炸 ，是多晶硅 生产 中最危 险的过程产物 之一 。 二氢硅进氢化 、二氯二氢硅反歧化和二氯二氢硅生 如何有效地处理二氯二氢硅是多晶硅生产企业最为 产硅烷气等。 关注的焦点。很多企业采用简单的水解 、中和等措 1．1 二氯二氢硅进还原 施无法有效地处理二氯二氢硅。造成硅、氯等元素损 二氯二氢硅进还原是指将二氯二氢硅直接通人 失的同时还存在很大的