多晶硅生产的残液高效回收技术.pdfVIP

· 52· 有 色 冶 金 节 能 口新能源 多 晶硅 生 产 的残 液 高 效 回收技 术 曾晓国 郑红梅 刘德杰。 万 烨 。 严大洲1,2 张升学 (1．中国恩菲工程技术有限公司，北京 100038；2．洛阳中硅高科技有限公司，河南 洛阳471023； 3．河南省固体废物管理中心，河南 郑州 450000) [摘 要] 改 良西 门子法生产多晶硅 的过程 中会产生大量富含杂质 的四氯化硅残液 。国内大部分企业缺少有效 的四氯化硅残液处置办法 ，严重制约多晶硅产能的释放 以及成本 的降低 。本文针对这一 问题 ，研发出了一种高效 的四氯化硅残液 回收工艺，并研究了压力、温度及 四氯化硅蒸气净化除尘对残液 回收工艺的影响。 [关键词] 多晶硅 ；残液 ；四氯化硅 ；回收技术 [中图分类号]TQ264．1 [文献标志码]A [文章编号]1008—5122(2015)03—0052—03 TheEfficientRecyclingTechnologyofTetrachl0r0silane ResidueFrom Polysilicon Production ZENGXiao—guo，ZHENGHong—mei，LIUDe-jie，WANYe，YANDa—zhou，ZHANGSheng-xue Abstract：A greatamountoftetrachlorosilaneresidueisproducedintheupdatedSimensProcesswhich is theprevailingmethodforpolysiliconproduction．Thesho~ageofrecyclingtechnologyoftetrachlorosilane residueseverely constrainscapacity releaseand costreduction ofpolysilicoon production． In orderto solvethisproblem ，anefficientprocessofrecyclingtetrachlorosilaneresidueisresearchedanddeveloped， impactsofpressure，temperatureanddustingandpurgingoftetrachlorosilanevaporontheprocessofre— cyclingtetrachlorosilaneresiduearestudied． Keywords：polysilicon；tetrachlorosilaneresidue；tetrachloridesilicon；recyclingtechnology 氯化硅转化为原材料三氯氢硅既可将其 回收利用 U 日JI舀 降低生产成本 ，又实现 了物料 的闭路循环 、避免污 多晶硅是集成 电路和光伏产业用 的关键原材 染环境 。相 比高温氢化 ，冷氢化技术 由于其反应 料，是 《国家中长期科学和技术发展规划纲要》制造 温度低 ，处理能力大具有 巨大优势 。但是冷氢 业领域基础原材料优先主题 的重要内容。全球多晶 化过程要加入硅粉 ，在后续提纯过程 中将产生部 硅产业化生产工艺有三氯氢硅氢还原法 (或称 ：改 分的四氯化硅残液 ，这部分残液 因为含有大量 良西门子工艺)和硅烷法 ，前者 占世 界总产 能 的 四氯化硅及 固体杂质 ，处理难度大 。 目前一般用 85％，是多晶硅生产的主流工艺 。改 良西 门子法 来生产低 品质 的二氧化硅 以及盐酸 ，在该处理过 制备多晶硅会产生大量副产物四氯化硅 ，处理不好 程 中，会产生大量 的废气 、废水 ，对环境污染严重。 将污染环境甚至