CuAlO_2陶瓷靶材的制备及其性能研究.pdfVIP

学兔兔 第29卷第3期 粉末冶金技术 V01．29．No．3 2011年6月 Powder M etallurgy Technology Jun．2011 CuA102陶瓷靶材的制备及其性能研究木 兰军一 刘翔一 张辉 段云彪 储清梅 曹明刚 张少春 (昆明理工大学材料科学与工程学院，昆明 650051) 摘 要： 以分析纯微米级A1 O 和Cu 0粉体为原料，采用固相烧结法制备铜铁矿型透明导电氧化物 CuA10，陶瓷靶材，通过XRD、R—T和SEM等测试方法对其进行结构和性能表征，研究烧结反应温度及时间对 靶材结构、密度、电导率的影响。结果表明：最佳烧结制备 CuA10，陶瓷靶材的试验条件为烧结温度 1 150~C、 烧结时间lOh。试验获得了物相较纯、密度(4．83g／cm )达到理论密度95％的CuA10 陶瓷靶材，该靶材室温 电导率为1．3×10～S·cm～，由电导率温度曲线计算出该靶材热激活能为0．265eV。 关键词：透明导电氧化物；CuA10，；固相烧结；电导率 Preparation and performance of CuAIO2 ceramic target Lan Jun，Liu Xiang，Zhang Hui，Duan Yunbiao，Chu Qingmei，Cao Minggang，Zhang Shaochun (The College of Material Science and Engineering，Kunming University of Science and Technology， Kunming 65005 l，China) Abstract：CuA102ceramic targets were prepared by solid—phase sintering．Structure and performance of CuA102 ceramic targets were measured by XRD、RT and SEM．Furthermore，effects of sintering temperature and time on the CuAIO2 ceramic targets were investigated．The experiment results shown that the optimum sintering temperature and time is 1 150~C and 10 hours respectively．Maximum density of CuA102 targets is(4．83g／cm )95％ of theoretical density，electrical conductivity at room temperature 1．3 X 10～S·am一 ，and activation energy 0．265eV． Key words：transparent conductive oxide；CuA102；solid—phase sintering；electrical conductivity 1997年，Kawazoe等¨ 提出了价带化学修饰理 非常有利。CuA10 除了透明导电性外，近年又发现 论(CMVB)，依据该理论人工设计并成功制备了P 了其具有光伏特性 、对臭氧的气敏性 以及热电 型CuA10 薄