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2017-05-13 发布于天津
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一种适用无源RFID的集成加速度传感器设计.pdf

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一种适用无源RFID的集成加速度传感器设计

86 传感器与微系统 (TransducerandMicrosystemTechnd0gies) 2015年第34卷第 1O期 DOI：10．13873／J．1000-9787(2015)10-0086--04 一种适用无源 RFID的集成加速度传感器设计陈宏，邓芳明，何怡刚，吴翔 (1．华东交通大学轨道交通学院，江西南昌330013； 2．合肥工业大学电气与自动化工程学院，安徽合肥230009； 3，华东交通大学电子与电气学院，江西南昌330013) 摘要：针对射频识别(RFID)与无线传感器网络(WSNs)融合研究的需要，基于0．35 mCMOS工艺设计了一种集成加速度传感器。传感器单元采用从单晶硅衬底的背面进行深反应离子刻蚀工艺，背面刻蚀完成后再正面对金属和介质复合层进行各向异性刻蚀。集成电容式传感器接口电路基于锁相环原理，将传感器信号转移到频率域处理，避免了高功耗的A／D转换器的使用，直接完成电容／数字转换。后期测试结果显示：所设计的集成加速度传感器线性度好，稳定性高，功耗低，适合无源RFID及其它超低功耗应用设计。关键词：加速度传感器；射频识别标签；CMOS工艺；接口电路中图分类号：TP212．2 文献标识码：A 文章编号：1000-9787(2015)10-0086-04 ’●一 - 一 ● 一 ● ● 一 ‘ Design oian integrated accelerati0n SenS0rtorpassive RFID application CHEN Hong ，DENG Fang-ming ，HEYi—gang ，WU Xiang。 (1．SchoolofRailwayTracksandTransportation,EastChinaJiaoTongUniversity，Nanchang330013，China； 2．SchoolofElectricalEngineeringandAutomation，HefeiUniversityofTechnology，Hefei230009，China； 3．SchoolofElectricalandElectronicEngineering，EastChina：JiaoTongUniversity，Nanchang330013，China) Abstract：Aimingatrequirement0fintegrationstudyofradiofrequencyidentification(RFID)andwirelesssensor networks(wSN )technology，anintergatedaccelerationsensorisdesignedbasedon0．35 mCMOSprocess． Sensorunitutilizesdeepreactiveionetchingprocedureonthebacksideofthemonocrystallinesiliconsubstrate，