半导体物理实验教材.pdfVIP

自编经典教材目录 一、 半导体物理实验指导书 1.实验的地位、作用和目的…………………………. 4 2. 实验一 单晶硅少子寿命测试…………………………5 3. 实验二 半导体方块电阻的测量…………………………9 4 .实验三 半导体电阻率的测量…………………………12 二、 微电子器件实验指导书 1. 实验的地位、作用和目的…………………………16 2. 实验一 测量双极晶体管的性质……………………17 3 实验二 晶体管特征频率的测量……………………19 4 实验三 测量双极晶体管的击穿特性…………………22 三、 集成电路工艺实验指导书 1 实验的地位、作用和目的……………………24 2. 实验一 氧化工艺实验……………………26 3. 实验二 光刻工艺实验……………………28 4 、实验三 硼扩散工艺实验……………………31 5. 实验四 磷扩散工艺实验……………………34 6. 集成电路工艺课程设计……………………37 四、《PLD 原理及应用》实验指导书 1 实验一 PLD 开发相关软件和实验开发箱的使用………………40 2 实验二 电路图设计与仿真_半加器原理图输入………………51 3 实验三 PLD 组合逻辑设计BCD 码—七段数码显示译器…56 4 实验四 PLD 时序逻辑设计——8位移位寄存器…. ….61 5.实验五 PLD 混合逻辑设计——跑步计时用的数字跑表….67 6.实验六 自动售饮料机的设计……………………74 7.实验七 PLD 混合逻辑设计正弦信号发生器的FPGA实现. 79 8.实验八 步进电机的FPGA 实现……………………84 第 1 页 共 2页 半导体物理实验指导书 微电子技术教学部 编写 光电工程学院 微电子技术教学部 2006 年 2 月 第 2 页 共 3页 一．实验的地位、作用和目的： 《半导体物理实验》课是微电子学与固体电子学专业本科教学中 的重要教学实践环节，通过本实验课使学生掌握实验的基本原理及基 本测试方法，加强对半导体物理理论的理解，提高学生的实际动手能 力，为将来开展科学试验和产品研制打下基础。 基本原理及课程简介： 《半导体物理实验》包括三个实验：Si 单晶少子寿命测试，方块 电阻测试，电阻率ρ的测试。 二．实验方式及基本要求 1.教师在课堂上讲解实验的基本原理、仪器使用、测试内容及实 验要求，交代实验注意事项。 2.学生分 4 人一组进行实验，要求必须自己动手做实验，然后独 立完成实验报告。 三．实验考核及实验报告： 2．学生在做完一个实验后，需要独立处理实验数据，认真写实 验报告（内容包含实验原理、实验步骤和实验结果），在做实 验前还必须预习； 2．实验指导教师根据学生实验完成情况及实验报告情况打分， 然后综合各次实验给出最后考核成绩。 编著者：杨虹、唐政维、冯世娟 第 3 页 共 4页 试验一 单晶硅少子寿命测试 一．试验目的 1．了解半导体非平衡少子寿命的概念和重要性。 2 ．掌握高频光电导衰减法测量寿命的基本原理。 3 ．学会“DSY-Ⅱ硅单晶寿命仪”的使用。 二．实验原理