扫描电子显微镜的应用.pdfVIP

项目二 扫描电子显微镜的应用 I、 目简介 目前扫描电子显微镜的应用几乎渗透到各个领域，而应用最多的是冶金、矿 物、半导体材料、生物医学、物理、化学等学科。KYKY-1000B 扫描电子显微镜 在电子光学、样品室、电子探测和显示系统方面集中了许多现代电镜设计中的优 点，操作容易，维护方便。通过对 KYKY-1000B 扫描电子显微镜的研究，掌握 和了解扫描电子显微镜的工作原理，结构及其操作，为学生今后使用这一类型设 备打下良好的基础。 [项目对象] 本项 主要面向理、工、农、林各专业。 [项目目的] 1．理解扫描电子显微镜的工作原理及其优点。 2 ．理解扫描电子显微镜的内部构造。 3 ．掌握扫描电子显微镜的基本操作。 [项目任务] 1．了解扫描电子显微镜的各个部件的功能。 2 ．熟练操作扫描电子显微镜，并进行样品扫描观察。 3 ．使用扫描电子显微镜进行样品照片拍摄。 4 、冲洗、放大照片。 [项目成果要求] 对样品进行扫描并冲洗、放大样品的扫描照片。最后总结并撰写项 论文 完成该项 （论文含实验成果——扫描照片）。 PDF 文件使用 pdfFactory Pro 试用版本创建 II、实验讲义 扫描电子显微镜早在1935 年便已被提出来了。1942 年，英国首先制成一台实验室用的 扫描电镜，但由于成像的分辨率很差，照相时间太长，所以实用价值不大。经过各国科学工 作者的努力，尤其是随着电子工业技术水平的不断发展，到1956 年开始生产商品扫描电镜。 近数十年来，扫描电子显微镜已广泛地应用在冶金、矿物、半导体材料、生物医学、物理、 化学等学科的领域中，促进了各有关学科的发展。 一、项目任务 根据KYKY-1000 扫描电子显微镜的工作原理扫描样品，观察样品表面并进行拍摄，最后冲 洗放大所得扫描照片。 二、实验仪器 KYKY- 1000B 型扫描电子显微镜系统，包括镜筒、电子信号的收集与处理系统、电子信号的 显示与记录系统、真空系统及电源系统。 三、实验原理 （一）扫描电子显微镜的特点 和光学显微镜及透射电镜相比，扫描电镜具有以下特点： 1、 能够直接观察样品表面的结构，样品的尺寸可大至120mm 80mm 50mm 。 2 、样品制 过程简单，不用切成薄片。 3、样品可以在样品室中作三度空间的平移和旋转，因此，可以从各种角度对样品进行观察。 4 、景深大，图象富有立体感。扫描电镜的景深较光学显微镜大几百倍，比透射电镜大几十 倍。 5、 图象的放大范围广，分辨率也比较高。可放大十几倍到几十万倍，它基本上包括了从放 大镜、光学显微镜直到透射电镜的放大范围。分辨率介于光学显微镜与透射电镜之间，可达 3nm。 6、 电子束对样品的损伤与污染程度较小。 7、 在观察形貌的同时，还可利用从样品发出的其他信号作微 成分分析。 （二）扫描电子显微镜的结构 PDF 文件使用 pdfFactory Pro 试用版本创建 图一为KYKY- 1000B 型扫描电子显微镜，它的结