静电力反馈微加速度计的吸合失效_刘云峰.pdfVIP

下载本文档

10
0
约1.94万字
约 5页
2017-05-10 发布于湖北
举报
版权申诉

静电力反馈微加速度计的吸合失效_刘云峰.pdf

1、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

静电力反馈微加速度计的吸合失效_刘云峰

ISSN 1000-0054 ( ) 2006 46 5 11/ 35 CN 11-2223/ N J T singhua Un iv ( Sci Tech) , 2006, V l. 46, N . 5 649-652, 657 静电力反馈微加速度计的吸合失效刘云峰, 　董景新 ( , 100084) : 静电力反馈微加速度计的敏感质量与固定结构部 [ 2] , 分因静电力作用发生吸合失效, 重影响加速度计的可靠 1 性。为根本解决吸合问题, 分析了加速度计在开环、闭环的不 , 同工作状态下发生吸合的机理, 推导出由静电力、机械刚度 2) , 和止挡间隙等参数确定的3 个稳定条件, 用于判断吸合是否 [ 1] [ 3, 4] , e k 发生。实验证明了稳定条件是正确的。工程实际中, 3 个稳 , km ke( k 定条件可以指导此类加速度计的可靠性设计, 通过选择合理 m 的机械及电气参数, 可以完全避免发生吸合失效。 ) , : 微加速度计; 吸合失效; 稳定性; 可靠性; 静电力 + : T H 824 . 4 : A : 1000-0054( 2006) 05-0649-04 Pull-in failures of electrostatic force feedback micro accelerometers LIU Yunfe ng , DONG Jingxin ( Department of Precision Instruments and Mechanology, Tsinghua University, Beij ing 1000 4, China) Abstract: Pull-in failures f electr static f rce feedback micr acceler meters ccur w hen the electr static f rce can n t verc me the adh esi n f the m veable sensing mass t the w all. Pull-in 1 failures are the main cause f failur es in micr acceler meters . Remedies f r such failures w ere devel ped by analyzing th e pull-in , : 1) failure mech anisms f r p en-l p and cl sed-l p active c ntr ls . ; 2) T hree stab ility