2011_0531_北航_传感器技术及应用_樊尚春_013_to探析.ppt

传感器技术及应用;传感器技术及应用;第1讲：绪 论 第2讲：传感器的输入输出特性 第3讲：传感器敏感结构的力学特性 第4讲：几种典型的模拟式传感器 第5讲：谐振式传感器 第6讲：发展中的传感器新技术 第7讲：总 结;思考题(第6讲);6.1 概述(微型化、智能化、网络化) 6.2 微机械传感器 6.3 智能化传感器;6.2.1 概 述 6.2.2 硅电容式集成压力传感器 6.2.3 硅电容式微机械加速度传感器 6.2.4 硅电容式表面微机械陀螺 6.2.5 微机械科氏质量流量传感器 6.2.6 硅谐振式压力微传感器;6.2.1 概 述; 敏感结构 工作机理 特性方程 典型应用;;; 特性方程;工业自动化领域：压力变送器; 单轴加速度传感器 三轴加速度传感器;关键问题： 敏感质量 差动实现 折叠梁刚度 ; 三轴加速度传感器;6.2.4 硅电容式表面微机械陀螺;6.2.5 微机械科氏质量流量传感器;热激励硅微结构谐振式压力传感器;差动输出的微结构谐振式压力传感器;6.3 智能化传感器;6.3 智能化传感器;6.3 智能化传感器;光电式智能化压力传感器 智能化差压传感器 全向空速智能化传感器 智能化智能结构传感器系统 嵌入式智能化大气数据传感器系统 智能化流量传感器系统;光电式智能化压力传感器;光电式智能化压力传感器 智能化差压传感器;光电式智能化压力传感器 智能化差压传感器 全向空速智能化传感器 智能化智能结构传感器系统 嵌入式智能化大气数据传感器系统 智能化流量传感器系统;智能化流量传感器系统;技术的必由之路;6.1 概述(微型化、智能化、网络化) 6.2 微机械传感器 6.3 智能化传感器;?;第1讲：绪 论 第2讲：传感器的输入输出特性 第3讲：传感器敏感结构的力学特性 第4讲：几种典型的模拟式传感器 第5讲：谐振式传感器 第6讲：发展中的传感器新技术 第7讲：总 结;思考题(第7讲);