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及其摩擦磨损性能研究
2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 第 28 卷 第 2 期 摩 擦 学 学 报 Vol 28, No 2 2008 年 3月 TR IBOLOGY March, 2008 Ti Al金属间化合物润滑薄膜制备 及其摩擦磨损性能研究 李长生 1 , 张 晔 1 , 田明霞 1 , 刘万章 2 , 宋新亚 2 , 钱 周 2 ( 1. 江苏大学 省摩擦学重点实验室 , 江苏 镇江 212013; 2 2 2 2 2 2. 浙江金鹏化工有限公司 , 杭州 浙江 311724) 摘要 : 采用双靶反应磁控溅射法在不锈钢基体表面沉积 Ti A l二元金属间化合物薄膜 ,采用改变基体相对于靶材位置 的方法调整薄膜中 A l和 Ti含量 ,通过对薄膜成分和结构表征以及摩擦系数测定 ,并结合 Ti A l合金相图系统研究不 同成分薄膜的摩擦磨损特性. 结果表明 :随着薄膜中 A l含量在 43. 20at% ~67. 89at%之间改变 ,薄膜的摩擦系数处于 0. 05~0. 30之间 ;当薄膜中 A l含量为 45. 59at%时 ,薄膜的摩擦系数最小 ,为 0. 05,且 A l含量为 43. 20at% ~48. 23at% 的薄膜的摩擦系数均小于 0. 10;当 A l含量大于 48. 23at%时 ,随着 A l含量的增加 ,薄膜的摩擦系数增至 0. 32;当 A l含 量为 43. 20at% ~48. 23at%时 ,薄膜中形成了 α2 Ti3 A l +γ TiA l两相共存组织 ,具有减摩效果的同时 ,使其磨损率降低 12. 57% ~38. 41%. 关键词 : Ti A l金属间化合物 ; 固体润滑薄膜 ; 磁控溅射 ; 摩擦磨损性能 中图分类号 : TH117. 3 文献标识码 : A 文章编号 : 1004 0595 (2008) 02 0128 05 TiA l系金属间化合物由于铝化合物本身所具有
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