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流體化床結晶處理技術於半導體產業含氟廢液之應用
技術 新知 流體化床結晶處理技術 於半導體產業含氟廢液之應用 文 / 林恩添 圖為各種結晶顆粒 ，其中最上方黃色顆粒為碳 之顆粒體積及重量持續增加 ，進而形成沈降性 酸鈣(除鈣 ，硬水軟化) ，後續順時針方向依序為冰 較佳之膠羽 。 晶石(除氟) 、碳酸鎳(除鎳) 、氟化鈣(除氟) 、碳酸鈣 .沈澱程序(Settlement) ： (除鈣 ，硬水軟化)等 。 前述膠羽於沈澱槽中 ，藉 由設計合宜之停留時 摘要 間 ，完成固液分離程序 ，得到預期之出流處理 傳統處理方式 水 。 半導體廠之含氟廢液處理及其伴隨產生的 半導體產業之主要製程如晶圓的濕式蝕刻及清 大量污泥 ，一直以來是園區廢水處理的重要 .脫水程序(Dewatering) ： 洗 ，都將產生大量的含氟廢液 ，一直以來都是園區 課題 。含氟廢液主要來 自晶圓的濕式蝕刻製 沈澱槽所沈積之污泥 ，一般會先以重力濃縮槽將 廢水處理的重要課題 。傳統處理方式為以鈣鹽進行 程及清洗製程 。一般含氟廢液處理以鈣離子 污泥餅委外清運 。 混凝沈澱處理 。大致可分為四階段 ： 與氟離子反應後
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