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．-O o六年全国光电技术学术交流搠论文集(F) 中红外高激光破坏阈值薄膜的研究 金涛，江绍基 (中山大学光电材料与技术国家重点实验室，广东广州510275) 摘要；针对中红外波段(尤其是2．94pm波长)，选择合适的薄膜材料并结合适当的制备工艺参数，优化 pm和2．94 制备出了几种高破坏阈值2．94pm激光腔镜。使用了1．06 pm两种波长的激光器进行破坏阈值实验 并将实验结果进行对比，总结出中红外波段光学薄膜的一些独特性质以及镀制要求，解决了长期制约中红外 薄膜应用的低破坏阈值现象并得出一套有效地镀制高激光破坏阈值中红外薄膜的方案。所镀腔镜经过自制的 自由震荡式长脉宽2．94Er：YAG激光器的检验，满足使用要求． pm 关键词：中红外； 薄膜； 破坏阈值； Er：YAG 中圈分类号：TN911．73文献标识码：A mid·infrared Laser issuesof forthe damage opticalcoating JIN Tao，JIANG Shao-ji (StateKeyLaboratoryofOptoelectromeMaterials outto andfabricatethemirrorsforlasers inthe Abstract：Ahasbeencarried design operating study materials．Severalmirrorsare for a of andsubstrate coatings mid-infrared(specifically2．94I．tm)bycheckingvariety at datumofboth of madeoutforthelaser working2．94pm．Bycomparingdamage wavelength1．06pm particularly of low thresholdof the resolvethe the and Oll relativelydamage 2．94I_tmshootingsamples，wefinally problem mid—infraredwith mid-infraredandfmdoutafeasibleandefficienttomakemirrors at hi曲 coatings way working threshold．SomeoftheinilTorsaretestedallEr：YAGlaser at wavemodeandfoundouttobe damage
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