吸附式帮浦与冷冻帮浦.ppt

吸附式幫浦 與 冷凍幫浦 學生：王裕文、廖健豐 學號：MA0L0202 、 MA0L0212 吸附式幫浦 簡介 ?吸附式幫浦為儲氣式幫浦的一種。 ?儲氣式幫浦是指抽氣時，不將氣體分子直接排放至 大氣，而是暫存於系統內達到抽真空的效果。 ?抽氣量一定，使用一段時間後，需經過再生程序方 可使用。 簡介 壓力範圍：1013～10-3 mbar。 用途：潔淨之真空系統粗抽。 特點：物理或化學吸附、不會潮解、在高溫時可將 吸附的氣體釋出再生。 構造 吸附動作 蒸氣壓 冷凍吸附 多級吸附幫浦 再生 當幫浦吸附足量的氣體後，即不再有吸附功能。 當回到室溫下大部分的氣體均可排出，唯獨水氣難以驅出，因此使用加熱帶纏繞加溫。 若再用乾燥氮氣沖洗更佳。 再生 冷凍式幫浦 簡介 壓力範圍：10-4 ～10-11 mbar 用途：高真空或超高真空抽氣使用 特點：乾淨、無油氣污染，前級搭配乾式幫浦最為 理想。 注意：一些需要加高溫才能清除的汙染物或一些有 機物難以清除，不適合用於可能產生污染的 真空系統。 壓縮機 壓縮機原理 低溫抽氣配置 第一級冷凝 第二級冷凝 低溫捕獲 低溫吸附 與吸附幫浦的吸附原理完全相同，主要是要吸附氖、氦、氫這一些小分子，並配合冷凝抽氣來使用。 再生 冷凍幫浦的冷凍板在幫浦運作的時後，會逐漸被冷凍的固態氣體所掩蓋。 通常只要將幫浦停機使其回至室溫，再利用前段幫浦將解凍的氣態氣體及活性碳吸附的氣體抽除，再用乾燥的氮氣通入把污染物排出即可。 必要可以加溫，但不能太高，一般為70℃。 參考文獻 陳建人，真空技術與應用，行政院國家科學委員會，精密儀器發展中心出版 呂登復 編著，實用真空技術，國興出版社 * * 抽氣口 鋁或不銹鋼外殼 放氣閥 外觀 截面 導冷翼 吸附劑 抽氣 吸附劑 液氮容器 液態氮 抽氣 真空室 吸附幫浦1 吸附幫浦2 閥門V1 閥門V2 吸附劑 抽氣 放氣 加熱罩 壓縮機 油分離過濾器 吸附 過濾器 冷卻水水管 氣體分子 第一級冷凝 50?K~80?K 水氣與二氧化碳 第二級冷凝 10?K~20?K 氮氣、氧氣、氬氣等 氣體進入 第二級冷凝 10?K~20?K 氮氣、氧氣、氬氣等 活性碳吸附 氫氣、氦氣、氖氣 氣體進入 容易冷凝且會形成多孔性結構的氣體凝固層作為陷阱。例：Ar、CH4、CO2、NH3。 *