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X射线光电子能谱(XPS)数据处理方法

X射线光电子能谱(XPS)XPSXPS是一种基于光电效应的电子能谱,也叫做化学分析电子能谱(ESCA)。样品  能量 分析器 光电子探测器 X射线源AlK?或MgK? 数据处理系统基本构造基本原理爱因斯坦光电定律: Ek = h?-Eb-?用途元素的定性分析。根据能谱图中出现的特征谱线的位置鉴定除H、He以外的所有元素。元素半定量分析。根据光电子谱线强度(光电子峰的面积)反应原子的含量或相对浓度 。固体表面分析。包括表面的化学组成或元素组成,原子价态,表面能态分布,测定表面电子的电子云分布和能级结构等 。化合物的结构。对内层电子结合能的化学位移精确测量,提供化学键和电荷分布的信息 。分子生物学中的应用。利用XPS鉴定维生素B12中的少量的Co。优点及特点 固体样品用量小,不需要进行样品前处理,避免了引入或丢失元素所造成的错误分析表面灵敏度高,一般信息深度?10nm 分析速度快,可多元素同时测定给出原子序数3-92的元素信息,以获得元素成分分析给出元素化学态信息,进而分析出元素的化学态或官能团样品不受导体、半导体、绝缘体的限制等是非破坏性分析方法。结合离子溅射,可作深度剖析 能谱图分峰拟合生成text: 选择要进行拟合的数据点,copy至txt文本中,即ABC三列数据(其中B列为空的,只包含两列数据)分峰拟合导入数据:xps peak 41分峰软件, Data Import (ASCII)分峰拟合扣背景:Backgrond,Boundary的默认值,Type一般选择Shirley类型分峰拟合加峰:Add Peak,PeakType、Position、FWHM、%Lorentzian-Gaussian分峰拟合拟合:Optimise All数据输出:Data中的Export(spetrum),存为.dat格式的ASCII文件Thanks for your attention!

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