HVFP_4PP高真空高温四点探针测试系统.docxVIP

探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。 HVFP－4PP高真空/高温四点探针测试系统，10-6?Torr高真空度，室温至700度加热温控卡盘，?具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好，测量范围广，结构设计紧凑，使用方便等特点；210mm直径样品卡盘，大行程设计，XY行程范围可达到235mm,?可同时测量电阻值、片电阻(sheet resistance)及电阻率(Resitivity)等参数，并可进行温度变化与电阻率的曲线分析；适合于对半导体、金属、绝缘体材料的电学性能测试 产品特点及参数： *?腔体真空度可达10-6?Torr或以下(可选) *?腔体前方开口，方便放置样品 *?高真空抽气口位于腔体后方，与真空泵系统结合符合ISO之规范 *?具备观察视窗( View Port )，可直接观察8寸及以下晶圆或其它样品的传送过程 *?腔体材质为不锈钢 *?预留两个气体接口 *?石英材质样品载物台避免漏电产生 *?使用涡轮泵系统，真空度最高可达到10-8Torr *?使用机械泵系统，真空度最高可达10-4Torr *?高真空计范围：Atm~10-9?mbar/torr *?低真空计范围：Atm~10-3?mbar/torr * TIC真空控制装置 *?自动抽气控制系统配置气动阀与洩压阀 *?腔体抽气能力：30分钟内达到10-6Torr *?探针间距可以调整，调整范围30μm~100μm *?探针与待测物表面夹角：30度（±5度） *?在点针及量测过程中可确保不会破坏待测物表面 *?光学显微镜观察，不会存有针痕 *?点针方式采用微调节装置，以避免探针接触样品表面瞬间造成样品损伤 *?配置光学量微镜及视频成像装置，方便点针操作 *?支持四探针测量方法 *?具备自动及手动选档功能 *?可同时测量电阻值、片电阻(sheet resistance)及电阻率(Resitivity) *?可同时支持GPIB及RS232通讯界面 *?可搭配不同功能的电学测量源表 *?抽气控制采用人机触控界面，量测采用计算机界面 *?具备操作者权限设定功能 *?测试参数及结果可储存