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PE 作业指导书 编制人/日期： 审核人/日期： 批准人/日期：  PAGE6 / 14 1 目的 为了确保PE车间安全生产和员工规范操作，提高生产效率，特制定本标准。 2 范围 本规范规定了 PE 车间员工标准操作及注意事项，适用于PE车间全体操作人员。 3 相关文件 《清洗不净异常处理流程》 《18#片异常处理流程》 4 定义 无 5 职责 PE车间全体操作人员对此项工作负责。 6 环境 PE车间重点监控点洁净度要求如下： 装片工作区（包括湿法刻蚀上下料工作区）和管P装片和卸片工作区洁净度要求100，000级以下（即≥0.5μm的尘粒最大允许数/立方米小于3，500，000个）。 7 职业健康安全 无 8 管理内容 8.1 捷佳创管式PECVD生产操作规范 8.1.1 基本操作流程  进舟（选工艺曲线，并记录机号、舟号和时间） 取一组清洗干净的硅片和一篮补片 按要求每舟装252片正常片 记录出片数，送到指定的印刷线 将252片正常片卸到相应的印刷篮里 测量膜厚、折射率 PECVD生产作业流程 8.1.2 规范操作步骤 8.1.2.1 工作前准备 8.1.2.1.1 严格佩戴劳保用品，戴好活性炭口罩和PVC手套。 8.1.2.1.2 待镀膜的硅片按组分开放置在工作台上，每组396片（16个小花篮）必须与补片在工作台分区摆放，如图16；同一组补片装片时分到其他管P，镀膜结束后合并下传印刷，每台管P分到的补片为8篮。 工作台划分示意图 8.1.2.1.3 工作用品的检查：检查真空吸盘真空压力大小，检查石墨舟是否有损坏，检查小车无损坏并可识别机台。 8.1.2.1.4 镀膜Q-Time要求：从甩干完成到管P进舟时间不得超过1h。 8.1.2.2 PECVD岗位作业流程 8.1.2.2.1 取片：取一篮补片放在装舟架子的最左边（有红色特别标记，如图17）；再从整组硅片里取6篮并排靠右放在架子上，准备好之后开始装片。 装舟 8.1.2.2.2 装舟A面：右侧员工确定石墨舟电极在右手侧后，开始装片，此时两个人全部装整组硅片，全部正着装片（设定装在舟片的A面），即A面108片全部为整组片。 8.1.2.2.3 旋转石墨舟：装满A面，检查无漏装叠片；将小车拉出一个空间，然后旋转石墨舟180度，准备装B面。 8.1.2.2.4 装舟B面：旋转之后，左侧员工先确定石墨舟电极在左手侧，则用补片将石墨舟的左边第一列装满18片，其余5列全部装整组硅片，全部正着装片（B面），即B面包括18片补片和90片整组片。 8.1.2.2.5 复位：检查无漏装叠片；然后将石墨舟旋转180度，恢复初始位置（进舟位置）。 8.1.2.2.6 进舟： 所有的片子装好后，将支持石墨舟的不锈钢支架扶平；检查石墨舟的电极方向，石墨舟电极为上下两个孔，应朝向炉管，如图18所示： 石墨舟电极孔 上舟按钮 在放舟前要确认桨上和炉管内无舟后方可上舟，以免发生撞舟事故。 机台下方的平台严禁放置空余石墨舟，以免石墨舟取舟时导致石墨舟挤压坏。 8.1.2.2.7 运行工艺：选择要进的空炉管，在其电脑显示屏上点击“Select Run”，在弹出的输入界面，输入工艺曲线号、舟号及操作员代号，然后在“仅确认即可运行当前代号的当前工艺”可选项打勾，确认无误后点击确定；最后点击入片按钮，如图19，系统启动自检程序，等待自检完毕后工艺自动开始运行。 8.1.2.2.8 观察工艺中断：在正常情况下，每次入片时都要检查是否为正确的工艺曲线，若发现工艺有误，请立即通知值班工艺；在工艺运行正常情况下，严禁人为操作工艺跳步功能。 8.1.2.3 取舟 8.1.2.3.1 自动运行完成后，机械臂将自动进行下舟动作，下舟完成后会出现连续的提示音表示生产结束，此时可将小推车缓慢拉出，小心不要接触热石墨舟，以免烫伤。 8.1.2.4 卸片 8.1.2.4.1 冷却：将炉管里出来的石墨舟置于冷却房内进行冷却，切忌不可接触热石磨舟，以免烫伤。 8.1.2.4.2 测膜厚：卸片前先测膜厚，要求从电极一侧到另一侧依次取中间一行6片送质检检测，膜厚和外观无异常即可卸片。 8.1.2.4.3 卸片装篮：卸片时，右边卸片的员工先确认电极孔在右手侧，然后将舟右边第一列的镀膜片（即反手面148片）卸到印补片印刷花篮里，计为补片；该舟其余的片镀膜片则为同一批，加上该组另一石墨舟里的252片，本组镀膜数量仍为400片；各组的印刷花篮分区域放置，如