压电式传感器研讨.ppt

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压电式传感器研讨

压缩式的压电式加速度传感器的其它结构 (a)中央安装压缩式 (b)隔离基座压缩式 (C) 倒挂中心压缩型 2)剪切型 与压缩式加速度传感器相比,剪切式加速度传感器是一种很有发展前途的传感器,并有替代压缩式的趋势。 (a) 环形剪切式结构 (b) 扁环形剪切式结构 (c) H形剪切式结构 (d) 三角形剪切式结构 3)复合型 剪切-压缩复合型 (a) 断面图 (b) X和Y方向加速度检测原理图 (c) Z方向加速度检测原理图 一种压电式三向加速度传感器断面图 (2) 组合一体化压电加速度传感器 (3)弯曲型压电加速度传感器 压电加速度传感器实物图 压电加速度传感器的安装及使用 a)双头螺丝固定 b)磁铁吸附 c)胶水粘结 d)手持探针式 1—压电式加速度传感器;2—双头螺栓;3—磁钢;4—粘接剂;5—顶针 5.5.2 压电式测力传感器 图示为一种单向测力传感器,它可用于机床动态切削力的测量。压电晶片为x切石英晶片,尺寸为8×1?mm,上盖为传力元件,其变形壁的厚度为0.1~0.5?mm,由测力范围决定,Fmax=5000N。绝缘套用来电气绝缘和定位。 压电式动态力传感器用于动态切削力的测量 压电式动态力传感器在体育动态测量中的应用 压电式步态分析跑台 压电传感器测量双腿跳的动态力 集成压电式传感器 是一种高性能、低成本动态微压传感器,产品采用压电薄膜作为换能材料,动态压力信号通过薄膜变成电荷量,再经传感器内部放大电路转换成电压输出。该传感器具有灵敏度高,抗过载及冲击能力强,抗干扰性好,操作简便,体积小、重量轻、成本低等特点,广泛应用于医疗、工业控制、交通、安全防卫等领域。 脉搏计照片 ? 典型应用: ·脉搏计数探测 ·按键键盘,触摸键盘 ·振动、冲击、碰撞报警 ·振动加速度测量 ·管道压力波动 ·其它机电转换、动态力检测等 高分子压电材料的应用 1. 玻璃打碎报警装置 将高分子压电测振薄膜粘贴在玻璃上,可以感受到玻璃破碎时会发出的振动,并将电压信号传送给集中报警系统。 粘贴位置 高分子压电材料制作的玻璃打碎传感器 质量块 将厚约0.2mm左右的PVDF薄膜裁制成10?20mm大小。在它的正反两面各喷涂透明的二氧化锡导电电极,再用超声波焊接上两根柔软的电极引线。并用保护膜覆盖。 使用时,用瞬干胶将其粘贴在玻璃上。当玻璃遭暴力打碎的瞬间,压电薄膜感受到剧烈振动,表面产生电荷Q ,在两个输出引脚之间产生窄脉冲报警信号。 将高分子压电电缆埋在公路上,可以获取车型分类信息(包括轴数、轴距、轮距、单双轮胎)、车速监测、收费站地磅、闯红灯拍照、停车区域监控、交通数据信息采集(道路监控)及机场滑行道等。 2.交通监测 高分子压电电缆的应用演示 将两根高分子压电电缆相距若干米,平行埋设于柏油公路的路面下约5cm,可以用来测量车速及汽车的载重量,并根据存储在计算机内部的档案数据,判定汽车的车型。 (4)压电半导体材料 如ZnO、CdS 、ZnO 、CdTe,这种力敏器件具有灵敏度高,响应时间短等优点。此外用ZnO作为表面声波振荡器的压电材料,可测取力和温度等参数。 (5)铌酸盐系压电陶瓷。 5.3 压电元件的常用结构形式 5.3.1 压电元件的基本变形方式 1.对能量转换有意义的石英晶体变形方式: (1)厚度变形(TE方式):利用石英晶体的纵向压电效应 Qx=d11·Fx 或 qx= d11·σx (2)长度变形(LE方式):利用石英晶体的横向压电效应 Qy=d12·Fy·Sxx /Syy 或 qx= d12·σy (3)面剪切变形( FS (Face shear)方式): qx= d14·?yz (X切晶体) qy= d25·?xy (Y切晶体) (5)弯曲变形 (BS (Bending shear)方式) (4)厚度剪切变形(TS (thickness shear)方式): qy= d26· ? xy (Y切晶体) (a)厚度变形 (b)长度变形 (c)面剪切变形 (d)厚度剪切变形 (e)体积变形 由于σx=σy=σz=σ ,且d31=d32 , 所以: qx=(2d31+d33)σ 2.压

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