世昂磁控溅射仪操作指南 修改[dxy].pdfVIP

磁控溅射镀膜操作指南（世昂） （使用前务必仔细阅读） 第一部分：实验之前的准备工作2 1.1 安全须知 2 1.2 腔体清理： 2 1.3 准备实验材料： 3 第二部分：磁控溅射操作流程4 2.1 开机抽真空步骤： 4 2.2 送入样品步骤： 6 2.3 溅射过程： 8 2.4 样品取出步骤： 13 2.5 停止仪器 14 第三部分：维护与保养 15 1 第一部分：实验之前的准备工作 1.1 安全须知： 1. 在进入实验室之后，为保证实验人员的安全，实验步骤的规范，以及出于对 仪器的保护，穿好实验服，戴口罩，手套，准备开始实验。 2.进行实验之前，检查实验仪器是否处于正常状态，包括： a. 查看大型设备使用登记表，以及实验记录本，查看上次实验过程中是否 有异常，上次实验日期及溅射材料。并做好使用登记。 b. 检查设备各线路、气路是否完好，供电、供水是否正常，各开关、阀门 的位置有无异常，靶位是否正常，所有仪表电源开关处于关闭状态。 c. 检查真空室气路截止阀、充气阀是否关闭，检查真空室各接口螺栓是否 拎紧。 d. 查看水冷机的水位及其与各部分，包括分子泵、靶位的接口是否牢固， 检查有无漏水现象。 e. 查看Ar气、N 气气瓶是否处于关闭状态，查看气体余量。 2 3 注意事项： a.开机前检查各供水系统，各开关、阀的位置。 b.所有操作要详细阅读相关说明书。 c.实验过程中应时刻留意分子泵的运行状况。分子泵停转后，应立即关闭冷 却水，以避免泵内形成冷凝水。 d.在实验过程中，如果发现异常，非专业不要擅自处理，应该及时和老师或 相关人员联系，尽快解决。 e.在镀膜完成后，磁控靶的冷却水不能立即停止，要等到靶表面冷却后再停 止供应，防止靶被烧坏。 f.在打开腔体时，注意通风，腔体内的气体对人体有害。 g.由于溅射过程会使得腔体外壁积累电荷，所以不要赤手接触腔体外壁，防 止静电伤害。 h.未经允许任何人不得对仪器进行任何操作。 特别注意：不能将电磁阀 I （溅射室电磁阀）和电磁阀 II （样品室电磁阀） 同时打开，避免分子泵两端的压强差过大而损坏分子泵。 1.2 腔体清理： 1.开盖。经以上检查确定仪器设备处于正常状态后打开仪器总电源、总供电，打 开溅射室真空计，观察其真空度应在 50Pa以下。关闭真空计，拎开溅射室充气 阀向溅射室腔体充入气体 （先充入一定量的N 气，然后可直接充入空气）听不到 2 气流声后，过1-2min后开启腔盖，按升降台控制按钮 （非控制面板），溅射室上 盖则缓缓打开。 2.清洗。将样平台 （腔内部分）拆下来，和基片夹、挡板等放入被稀释的盐酸溶 2 液中浸泡十分钟左右，然后用砂纸打磨每个部件，直到部件表面干净且呈金属光 泽，然后用自来水冲洗干净，冲洗过后，将部件放入铺有铝箔的烘箱内干燥(干 燥时间：半小时左右，温度：80℃)等干燥完成之后，将部件取出，用酒精棉擦 拭，然后用N 气吹干，经负责人检查合格后进行安装。 2 3.将腔体的内部包裹一层铝箔，防止源材料溅射到腔体内壁，难以清理，从而在 其他材料溅射时成为污染源。 4.每次溅射都会使腔体的观察窗玻璃被污染，溅射前要将腔体窗口玻璃换成干净 的玻璃。（被污染的玻璃通过硫酸和双氧水混合液浸泡清洗干净。） 5.安装靶材，将选好的靶材安装在相应的靶位上。必须保证靶材和腔体绝缘（利 用万用表测试靶材与腔体之间的电阻，电阻在 1 兆欧左右表示没有短路），靶材 表面与靶罩之间的距离最多不能超过2 毫米，且越近越好。抽真空到5Pa 左右时 试一下能否起辉。换下来的靶材应立即真空封存。 6.安