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晶洲技术培训 -行业科普知识 湿制程设备行业分布 流程简介 太阳能电池分类 • 单晶太阳能电池 • 多晶太阳能电池 • 非晶硅太阳能电池（TCO-薄膜电池) • 转化效率对比…… 单晶电池的形成 多晶电池的形成 非晶硅太阳能电池 非晶硅光电池应用： 太阳能计算器、太阳能手表、园林路灯和汽车太阳 能顶罩等就是用非晶硅作为光电池的基本材料的 太阳能电池应用 硅的提纯原理 • 1、用焦炭与石英砂（SiO2）混合高温，产生粗硅。  （SiO2+2C=高温=Si+2CO↑） • 2、将粗硅与氯气高温，生成四氯化硅。  （Si+2Cl2=高温=SiCl4） • 3、将氢气与四氯化硅高温，生成多晶硅。  （SiCl4+2H2=高温=Si+4HCl） • 4、高纯多晶硅 熔融 籽晶提拉（直拉单晶炉）--单晶硅棒  高纯度硅在石英中提取，以单晶硅为例，提炼要经过以下过程：石英砂一冶 金级硅一提纯和精炼一沉积多晶硅锭一单晶硅一硅片切割。  冶金级硅的提炼并不难。它的制备主要是在电弧炉中用碳还原石英砂而成。 这样被还原出来的硅的纯度约98-99%，但半导体工业用硅还必须进行高度提 纯(电子级多晶硅纯度要求11个9，太阳能电池级只要求6个9) 太阳能光伏行业主要产品 硅料 晶体生长 滚磨 切片 腐蚀 硅料腐蚀清洗 硅棒刻蚀清洗 切片后清洗 硅片清洗刻蚀 去胶 分选 检验 制绒 扩散 去胶清洗 去损伤刻蚀清洗 制绒、清洗 石英管清洗 刻蚀 酸洗 镀膜 丝网印刷 烘干 刻蚀清洗 去磷硅玻璃刻蚀清洗 烧结 检测 单晶电池片形成 硅棒 12 切方 滚圆 清洗 整理分批 粘胶 切片 脱胶 脱胶方式： 1）、热水浸泡脱胶 2 ）、乳酸脱胶 3 ）、用到脱胶机 装盒 检验分选 太阳能电池片生产工艺流程 一次清洗工艺流程 一次清洗目的 制绒目的及机理 清洗工位腐蚀原理 • 热的NaOH和IPA以及添加剂混合溶液溶液去除表面切割 损伤层制备绒面； Si+2NaOH+H2O =Na2SiO3+2H2 • HF去除硅片在清洗过程中形成的很薄的SiO2层 SiO2+6HF = H2[SiF6]+2H2O • HCl去除硅表面金属杂质，盐酸具有酸和络合剂的双重 作用，氯离子能与 Pt 2+、Au 3+、 Ag +、Cu+、Cd 2+ 、Hg 2+等金属离子形成可溶于水的络合物。 药品使用安全 • NaOH是强碱性的化学 • HCl是强酸性的化学 • HF是弱酸,属强腐蚀 药品，其固体颗粒会 药品，溶液、蒸汽 性的化学药品，其 接触到人的皮肤、眼 会伤害到人的皮肤 溶液、蒸汽会伤害