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真空知识及真空系统.ppt
真空元件及符号 理想气体基本定律 管道流导及应用 真空泵 泵的型式与参数 真空连接与密封 真空阀门型号,编制和型式 型号,编制方法 真空零部件表面处理 真空检测与真空规 真空检漏 * 真空常识 俞明忠 真空度量 常用真空单位: 帕; 毫米汞柱; 乇; 毫巴 相互关系 1大气压=760毫米汞柱=1*105帕=1巴 1毫米汞柱=1乇(torr)=133帕 1毫巴(mbar)=100帕(Pa) 1巴(bar)=1000mbar 真空区域划分 1.33*10-12 极高真空 1.33*10-8—1.33*10-12 超高真空 1.33*10-3—1.33*10-8 高真空 1.33—1.33*10-3 低真空 1000—1.33 粗真空 压强范围(mbar) 名称 旋片真空泵 罗茨泵 扩散泵 所用 泵液 单极用单环 双环为多极 单极用单环 双环为多极 真空泵(不指明类型) 阀门(不指明类型) 插板阀 球阀 蝶阀 手动阀(可与结构符号合并) 磁动阀(可与结构 符号合并) 放气阀 挡板(不指明类型) 挡板温度 带接头的管道 交叉管路 (不连接) 波纹管道 橡胶管道 真空表 (不指明类型) 真空计 热偶规管 真空表 液位压力计分 真空计 热阴极电离规 一定质量的气体,如果其温度维持不变,气体的压力和体积的乘积为常数. P1V1=P2V2 (M1=M2 T1=T2) 一定质量的气体,如果维持其压力不变,气体的体积与其绝对温度成正比 V1/V2=T1/T2 (T为绝对温度(K), T=T°C+273 . P1=P2 , M1=M2) 3) 一定质量的气体,如果维持其体积不变,气体的压力与其绝对温度成正比 P1/P2=T1/T2 (T为绝对温度(K), T=T°C+273 . V1=V2 M1=M2 ) 4) 相互不起化学作用的混合气体总压力等于各气体分压力之和 P=P1+P2+P3+…..Pn 一, 气体流量,流导基本公式: 流量: 单位时间内通过给定截面的气体量: Q=PV/T P—压力(Pa) V—体积(L) T—时间(S) 流阻: 管道两端的压力差与通过管道的流量之比: W=(P1-P2)/Q Q---流量(Pa*L/S) 流导: 气体沿管道流动的能力,即流阻的倒数: U=1/W=Q/(P1-P2) 二, 影响流导的因素: 管道长度: 管道越长,管导越小. 管道直径: 一般情况,直径越小,管导越小. 管道形状: 弯曲越多,管导越小. 气体种类 气压 三, 应用: 在真空系统中,管道要粗,短,直.(但要注意油蒸气返流和返爬) 机械泵 一, 油封式旋转机械真空泵 进气口 泵油 旋片 排气腔 转子 进气腔 双级泵 泵体 排气阀片 旋片压紧弹簧 图一 排气口 图二 图三 图四 工作原理: 当转子在泵腔内旋转,旋片紧贴泵腔内壁(在弹簧压紧力和离心力共同作用下)把泵腔分隔成进气和排气 两部分,在开始进气(如图一)随着旋片旋转,进气腔体积容积不断扩大,吸入气体.在图二时,容积达到最大 随着旋片继续旋转,气体被压缩,达到一定压力,推开排气阀片(如图三)排出气体到大气中. 泵油作用: 1) 防止大气从排气口进入泵腔 2) 通过油孔,排气阀和泵体间隙进入泵腔,使蚌腔内所有运动表面被油覆盖(如旋片和泵腔的 接触面)形成吸气腔与排气腔之间的密封. 3) 油还充满了泵腔内的一切有害空间,以消除它们对极限真空度的影响. 双极泵作用是当第一级经排气腔压缩的气体不能推开排气阀时,气体经第二级再次压缩从而
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